收藏本站
《第十一届全国MOCVD学术会议论文集》2010年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

自主生产型MOCVD设备的研制

甘志银  刘胜  
【摘要】:最近,GaN等薄膜材料外延生长技术及其设备越来越受到人们的重视,而MOCVD设备正是最重要的半导体材料外延设备之一。本文将简要介绍MOCVD的应用、发展现状及趋势,自主MOCVD设备面临的机遇与挑战;同时,还将介绍笔者所在研究团队所研制的自主型MOCVD设备的特点及最新进展。

手机知网App
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 沈熙磊;;半导体材料与设备业创新需政策助力[J];半导体信息;2011年02期
2 沈熙磊;;日本关闭滨冈核电厂 半导体材料全面喊涨[J];半导体信息;2011年03期
3 裴英;;“硅步”是什么步[J];咬文嚼字;2011年08期
4 许露;梁红伟;刘远达;李春野;柳阳;边继明;李国兴;李万程;吴国光;杜国同;;MOCVD法制备Cu掺杂ZnO薄膜[J];发光学报;2011年09期
5 沈熙磊;;半导体所HgTe半导体量子点研究取得新进展[J];半导体信息;2011年03期
6 高冉;谢泉;;金属间化合物Ca_3Si_4光学性质的第一性原理计算[J];激光与光电子学进展;2011年07期
7 廖秀英;周勋;杨晓波;赵红;赵文伯;;通过倒易空间扫描表征AlGaN外延材料[J];半导体光电;2011年03期
8 于海群;左然;陈景升;彭鑫鑫;;MOCVD水平式反应器中热泳力对沉积过程中反应前体浓度分布的影响分析及数值模拟[J];人工晶体学报;2011年04期
9 于海群;左然;陈景升;;一种多喷淋头式MOCVD反应器的设计与数值模拟[J];人工晶体学报;2011年04期
10 郑冬冬;;辉钼有望代替硅成为新一代半导体材料[J];半导体信息;2011年02期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 周伟;邓泽华;刘纪美;;MOCVD生长锑基半导体材料在电子器件的应用[A];第十一届全国MOCVD学术会议论文集[C];2010年
2 甘志银;刘胜;;自主生产型MOCVD设备的研制[A];第十一届全国MOCVD学术会议论文集[C];2010年
3 胡睿;张华明;王关全;熊晓玲;杨玉青;魏洪源;;一种用于曲面核电池的镍膜制备工艺初探[A];第十届中国核靶技术学术交流会摘要集[C];2009年
4 陈接胜;;微孔晶体SAPO-44对Se及HgI_2半导体粒子的组装[A];材料科学与工程技术——中国科协第三届青年学术年会论文集[C];1998年
5 罗妙宣;王华;夏华丽;;LED显示技术及其发展趋势[A];2005年中国科协学术年会论文集第8分会场光固化与数字成像技术及其应用论文集[C];2005年
6 禹烨;牛燕雄;张鹏;刘杰;;强激光辐照半导体材料的热冲击效应研究[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年
7 张敏;班士良;;压力下应变异质结中施主杂质态的Stark效应[A];第11届全国发光学学术会议论文摘要集[C];2007年
8 李剑锋;孙涛;;半导体生产对石英制品的要求[A];第四届高新技术用硅质材料及石英制品技术与市场研讨会论文集[C];2006年
9 邵云东;王柱;;用正电子湮没技术研究半导体材料GaSb的微结构[A];第九届全国正电子谱学会议论文集[C];2005年
10 张小章;邓宁;周明胜;;同位素纯硅半导体器件研制及性能测试[A];中国科协2005年学术年会论文集——核科技、核应用、核经济论坛[C];2005年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 上海新阳半导体材料股份有限公司总工程师 孙江燕;半导体材料本地化需求趋增[N];中国电子报;2010年
2 常丽君;辉钼有望代替硅成为新一代半导体材料[N];科技日报;2011年
3 记者 李锐;上海新阳欲做世界一流半导体材料供应商[N];上海证券报;2011年
4 ;东汽峨半:勇做中国半导体材料行业的领跑者[N];中国有色金属报;2008年
5 ;中外科学家共同发现两种新型半导体材料[N];人民邮电;2002年
6 ;新政策对半导体材料业有积极作用[N];中国电子报;2009年
7 本报记者 三木;半导体材料寻求行业突破[N];中国高新技术产业导报;2003年
8 记者任建民;科学家发现新一代半导体材料[N];人民日报;2002年
9 京新;科学家发现新一代半导体材料[N];中国有色金属报;2002年
10 CCID微电子研究所;日益丰富的半导体材料[N];中国电子报;2002年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 钟树泉;MOCVD设备工艺优化理论与低温InP/Si晶片键合机理的研究[D];北京邮电大学;2010年
2 赵旺;MOCVD法制备氧化锌发光器件及薄膜晶体管的研究[D];吉林大学;2011年
3 贾辉;非极性GaN基半导体材料的MOCVD生长与探测器研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2012年
4 彭新村;锑化物热光伏电池材料的MOCVD生长特性研究及其器件模拟[D];吉林大学;2010年
5 孔晋芳;氧化锌基半导体材料的拉曼光谱研究[D];上海交通大学;2009年
6 俞琳;非磁性离子掺杂宽带隙半导体磁性的第一性原理研究[D];山东大学;2010年
7 陈小庆;宽带隙半导体SiC和ZnO的光电性质及掺杂研究[D];中国科学技术大学;2010年
8 钟泽;ZnO和AlN薄膜的MOCVD生长及其性质研究[D];中国科学技术大学;2010年
9 项若飞;硅衬底上GaN外延层和AlGaN/GaN异质结的MOCVD生长研究[D];华中科技大学;2011年
10 于海群;氮化镓MOCVD化学反应动力学分析及其数值模拟研究[D];江苏大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 唐巍;MOCVD法氧化锌薄膜材料生长[D];吉林建筑工程学院;2010年
2 刘炼;MOCVD生长的InGaN/GaN薄膜光电特性研究[D];南京大学;2012年
3 周晓琴;GaN型MOCVD控制系统的设计与研究[D];南昌大学;2012年
4 赵龙;p-ZnMgO:As薄膜的MOCVD生长及其发光器件制备研究[D];吉林大学;2012年
5 刘加高;氧化锌MOCVD材料生长和器件应用[D];南京大学;2011年
6 陈凯辉;MOCVD技术与GaN材料外延工艺[D];复旦大学;2010年
7 刘昌军;MOCVD计算机控制系统设计与实现[D];西安电子科技大学;2004年
8 朱芳;有机功能半导体材料的设计合成与性能研究[D];大连理工大学;2010年
9 朱海科;金属有机物化学气相沉积设备多腔体气体输运技术的研究[D];华中科技大学;2011年
10 邱颖斌;GaN薄膜的MOCVD制备法及其表征[D];山东大学;2011年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026