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《第十届全国青年材料科学技术研讨会论文集(C辑)》2005年
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EB-PVD制备的硅膜性能

韩杰才  周玉锋  张宇民  张剑寒  姚旺  韩媛媛  
【摘要】:介绍了使用EB-PVD法制备的Si膜性能,如膜-基结合强度、残余应力、孔隙率等。研究发现,只有当衬底温度在优化温度范围内时,膜-基系统才有优良的抗热震性及膜-基结合强度,硅膜晶体结构为柱状晶。衬底温度过高或过低都不利于膜-基系统性能的提高。但当温度比较高时,硅膜的孔隙率可能下降,却会增加膜-基系统中的残余应力。对硅膜性能影响较大的因素还有衬底表面光洁度等。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 陈彤;卢进军;;用于窄带滤光片的离子辅助沉积硅膜层的性能[J];西安工业大学学报;2006年03期
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前7条
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2 郭洪波,徐惠彬,宫声凯,刘福顺;表面强化对EB-PVD热障涂层的高温氧化性能及结合强度的影响[J];稀有金属材料与工程;2001年04期
3 任凤章,周根树,赵文轸,胡志忠,郑茂盛;悬臂梁法测量不锈钢基体上铜膜和银膜残余应力[J];稀有金属材料与工程;2003年06期
4 华敏奇,袁振海;划痕试验法对特殊薄膜系结合力的检测与评价[J];分析测试技术与仪器;2002年04期
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7 郭洪波,徐惠彬,宫声凯,刘福顺;基板温度对EB—PVD梯度热障涂层的微观结构和性能的影响[J];金属学报;2001年09期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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5 沃银花,杜平凡,姚奎鸿;钢铁表面氮化硅薄膜生成技术[J];表面技术;2005年02期
6 张跃飞,张广秋,王正铎,葛袁静,陈强;电子束蒸发镀铬制备凹印版材耐磨层的研究[J];表面技术;2005年02期
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9 张跃飞;王正铎;付亚波;陈强;张广秋;葛袁静;;离子辅助制备凹印耐磨层工艺研究[J];包装工程;2006年05期
10 林伟,黄世震,黄兆新,陈伟;磁控溅射纳米SnO_2薄膜的气敏特性[J];传感器技术;2003年01期
中国重要会议论文全文数据库 前5条
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中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘强;基于优化血液相容性的生物医用金属材料表面设计与改性[D];江苏大学;2010年
2 宋丹;利用可控气氛热喷涂方法制备复合材料涂层的研究[D];沈阳工业大学;2010年
3 刘一婷;基于酞菁铜的太阳能电池的研究[D];大连理工大学;2011年
4 马铭;超顺磁性氧化铁和LSMO/BCFO复合多铁薄膜的制备及其物性研究[D];华中科技大学;2011年
5 唐军;半导体和氧化物表面石墨烯的生长和结构表征及锰掺杂碳化硅稀磁半导体研究[D];中国科学技术大学;2011年
6 季梅;氧化钆掺杂对氧化铪高K栅介质氧空位抑制作用及电学性能研究[D];北京有色金属研究总院;2010年
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8 刘怀菲;二元稀土氧化物复合稳定氧化锆热障涂层材料的制备及性能研究[D];中南大学;2011年
9 郭双全;面向等离子体材料钨与热沉材料的连接技术[D];西南交通大学;2011年
10 杨海丽;熔盐脉冲电沉积制备高硅钢的研究[D];燕山大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 耿似玉;用于紫外指纹仪的短波通滤光片的研制[D];长春理工大学;2010年
2 张瑞丽;太阳能电池用α-SiC_x:H薄膜的制备与性能研究[D];浙江理工大学;2010年
3 胡雪磊;冷喷涂金属/陶瓷热障涂层沉积特性和防护机理研究[D];中国海洋大学;2010年
4 王涛;镍/铁沉积薄膜微观结构及其特性的分子动力学研究[D];湘潭大学;2010年
5 董广军;铁电薄膜的频率依赖关系研究[D];湘潭大学;2010年
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7 高峰;磁控溅射法制备氮化硅薄膜及其性能研究[D];武汉理工大学;2010年
8 马玉英;脉冲激光沉积(PLD)制备β-FeSi_2薄膜及性能研究[D];山东师范大学;2011年
9 于冉;LaNiO_3缓冲层对钙锶铋钛陶瓷膜晶粒取向的影响[D];山东建筑大学;2011年
10 李冬梅;沉积在离子液体表面铝薄膜的成膜机理及微观结构[D];浙江大学;2011年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 李芳,林永昌;应用于光纤通信DWDM系统的超窄带滤光片的设计[J];北京理工大学学报;2001年05期
【二级引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 杨道奇;ZNS基底红外多波段滤光膜的研究与制备[D];长春理工大学;2012年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 任凤章,鞠新华,周根树,胡志忠,赵文轸,郑茂盛;鼓泡法薄膜力学性能测试的研究现状[J];稀有金属材料与工程;2001年05期
【相似文献】
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1 王子健;王海燕;郜小勇;吴芳;李红菊;杨根;刘绪伟;卢景霄;;电子束蒸发制备ZnO∶Al透明导电膜及其性能研究[J];人工晶体学报;2006年06期
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3 王志军;李红莲;董丽芳;李盼来;尚勇;;衬底温度对电子辅助增强化学气相沉积金刚石膜的影响[J];人工晶体学报;2008年01期
4 张波;董显平;徐晓峰;赵培;吴建生;;共溅射法制备ITO:Zr薄膜及其特性研究[J];光电子.激光;2008年06期
5 杨仕娥;文黎巍;陈永生;汪昌州;谷锦华;郜小勇;卢景霄;;衬底温度和硼掺杂对p型氢化微晶硅薄膜结构和电学特性的影响[J];物理学报;2008年08期
6 杨红;李雪勇;戎茂华;;衬底温度和氧分压对ZAO薄膜结构及光学性能的影响[J];湖南工业大学学报;2008年04期
7 潘峰;陈长乐;文军;金克新;罗炳成;韩立安;陈钊;;衬底温度对Zn_(0.85)Mg_(0.13)Al_(0.02O)薄膜结构和发光特性的影响[J];功能材料与器件学报;2009年05期
8 李洪涛;蒋百灵;陈迪春;曹政;蔡敏利;苗启林;;本底真空度对磁控溅射Cr/C镀层微观形貌及结合强度的影响[J];功能材料;2010年03期
9 陈兴峰;左敦稳;卢文壮;徐锋;;Ti/BDD涂层电极的制备及其电化学性能研究[J];硅酸盐通报;2010年04期
10 刘汉法;张化福;郭美霞;史晓菲;周爱萍;;衬底温度对直流磁控溅射法沉积ZnO∶Ti薄膜性能的影响[J];真空科学与技术学报;2011年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 韩杰才;周玉锋;张宇民;张剑寒;姚旺;韩媛媛;;EB-PVD制备的硅膜性能[A];第十届全国青年材料科学技术研讨会论文集(C辑)[C];2005年
2 毛祖遂;魏赛珍;徐和平;汤晓明;黄莉;郑永铭;陈晓峰;;Au在低温PVF衬底上的分形生长[A];面向21世纪的科技进步与社会经济发展(上册)[C];1999年
3 赵艳;蒋毅坚;;衬底温度对氧化锌薄膜的光谱学特性影响研究[A];第十四届全国光散射学术会议论文摘要集[C];2007年
4 赵海花;方玲;卢志超;阎有花;赵栋梁;王先友;;衬底温度对CuI薄膜微结构与性能的影响[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(4)[C];2007年
5 万强;胡文军;梅军;;超纳米金刚石薄膜力学性能及其界面结合强度分析[A];中国力学学会学术大会'2009论文摘要集[C];2009年
6 祝元坤;朱嘉琦;韩杰才;陈娅冰;;磁控溅射制备SiC薄膜的拉曼特性研究[A];第十五届全国复合材料学术会议论文集(上册)[C];2008年
7 胡懿;王涛;介万奇;吴奕初;王明军;方国家;何春清;王少阶;;应用慢正电子束研究氧氩比和H离子注入对ZnO薄膜微结构的影响[A];第十届全国正电子湮没谱学会议论文集[C];2009年
8 杨定宇;朱兴华;魏昭荣;高秀英;杨维清;杨军;;CdS多晶薄膜的制备与光学性质研究[A];第15届全国晶体生长与材料学术会议论文集[C];2009年
9 张波;董显平;吴建生;;ITO薄膜的制备及其性能研究[A];TFC'07全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2007年
10 杨天勇;孔春阳;阮海波;秦国平;黄桂娟;李万俊;梁薇薇;孟详丹;赵永红;方亮;;衬底温度对ZnO:Mn薄膜结构及光电性质的影响[A];2011中国功能材料科技与产业高层论坛论文集(第二卷)[C];2011年
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2 王佃刚;脉冲激光沉积羟基磷灰石/生物玻璃复合薄膜的研究[D];山东大学;2009年
3 赵亚凡;钛合金表面脉冲激光沉积生物玻璃薄膜的研究[D];山东大学;2007年
4 王君;射频磁控溅射法沉积氮化铜纳米薄膜及PLZT薄膜[D];兰州大学;2006年
5 张宇翔;太阳能电池用多晶硅薄膜的制备研究[D];郑州大学;2005年
6 张炳森;Bi系氧化物薄膜的分子束外延法制备及微结构研究[D];东北大学;2009年
7 徐鸣;离子注入对DLC膜基的改性研究[D];上海交通大学;2007年
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9 王丽丽;直流磁控溅射纳米晶Fe-N薄膜的研究[D];吉林大学;2007年
10 戴丽萍;单源化学气相法制备ZnO薄膜及其光电性质研究[D];电子科技大学;2008年
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1 王晶晶;分子束外延法制备Bi-2212超导薄膜及其生长机制的研究[D];东北大学;2009年
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3 穆慧慧;铝掺杂量对氧化锌薄膜光电性能的影响[D];郑州大学;2010年
4 穆慧慧;铝掺杂量对氧化锌薄膜光电性能的影响[D];郑州大学;2010年
5 刘欢;基于反应力场的氧化锌薄膜沉积过程模拟研究[D];东北大学;2011年
6 周琬;集成X射线探测器设计及光光转换薄膜工艺研究[D];电子科技大学;2011年
7 陈志红;硬质合金基体/HFCVD金刚石薄膜制备及薄膜织构的研究[D];中南大学;2005年
8 孙新利;半导体氧化铁薄膜的制备、表征及光伏特性研究[D];杭州电子科技大学;2009年
9 常小宇;BaF_2:Yb~(3+),Ho~(3+)上转换薄膜的制备与特性研究[D];长春理工大学;2012年
10 李烨;衬底温度和激光强度对PLD制备ZnO薄膜性质影响的研究[D];东北师范大学;2009年
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