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《中国有色金属学会第三届学术会议论文集——科学技术论文部分》1997年
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靶材及其应用

夏慧  韩雪  吴丽君  
【摘要】:从溅射靶材的物理意义和靶材的应用分类、靶材应用的技术要求、靶材的制造工艺、靶材与底盘的连接方式及要求、靶材的市场销售、靶材的发展等几个方面进行了评述。重点评述了用于微电子产业的半导体关联靶材及透明导电用ITO靶材,最后提出了研究与开发靶材的几点看法。

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【引证文献】
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1 李风光,郭丽荣,刘东平,邓培,张咏,沈樱涛;化学液相共沉淀制备纳米级In_2O_3(SnO_2)粉体[J];粉末冶金工业;1999年05期
【参考文献】
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1 夏慧;真空磁控溅射靶Ni-V合金的均匀性研究[J];稀有金属;1994年06期
【二级引证文献】
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1 陈林;吴伯麟;;络盐法制备纳米晶铟锡氧化物(ITO)粉末[J];桂林工学院学报;2007年02期
2 杨芬;张永伍;刘品华;张小兴;;纳米掺锑氧化锡粉末的制备和性能研究[J];曲靖师范学院学报;2007年03期
3 胡学兵;周健儿;徐小勇;汪永清;张小珍;;In掺杂对化学共沉淀法合成的SnO_2粉体Zeta电位的影响(英文)[J];人工晶体学报;2009年06期
4 孙吉梅;侯翠红;张宝林;;纳米氧化铟锡制备方法研究[J];山东化工;2007年04期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 宋宁;超声—微波化学共沉淀法制备ITO和CIO纳米粉体的研究[D];昆明理工大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前8条
1 郑灵芝;硼酸铟稀土荧光粉的制备及其荧光特性的研究[D];中南大学;2002年
2 江国栋;Sol-Gel法制备无机/有机高分子纳米复合材料[D];南京工业大学;2003年
3 吕军华;In_2O_3/SnO_2纳米粉制备表征与表面修饰研究[D];南京工业大学;2003年
4 何云;高导电性掺氟二氧化锡(FTO)纳米材料的制备[D];华中师范大学;2006年
5 戴浩;ITO纳米材料的制备及性能表征[D];昆明理工大学;2006年
6 冯同春;化学共沉淀法制备纳米ITO粉体的研究[D];昆明理工大学;2007年
7 周志颖;抗静电PVC材料的研究[D];南京理工大学;2007年
8 魏坤;化学液相共沉淀法制备ITO纳米粉体的工艺研究[D];广西大学;2008年
【相似文献】
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1 岳明,刘卫强,张东涛,刘燕琴,张久兴;放电等离子烧结技术制备复合梯度靶材的研究[J];功能材料与器件学报;2004年03期
2 杨邦朝,胡永达,崔红玲;溅射靶材的应用及发展趋势[J];真空;2002年01期
3 杨邦朝,崔红玲;溅射靶材的制备与应用[J];真空;2001年03期
4 张青来,贺继弘;溅射靶材综述[J];上海钢研;2002年04期
5 蔡宗良,张建泉,刘峰,强希文;脉冲强激光产生的激波在靶材中的传播过程[J];计算物理;1997年Z1期
6 吴丽君;发展中的溅射靶材[J];真空科学与技术学报;2001年04期
7 尚再艳,江轩,李勇军,杨永刚;集成电路制造用溅射靶材[J];稀有金属;2005年04期
8 王浩;脉冲激光大面积均匀镀膜技术[J];新技术新工艺;1998年01期
9 贺永宁,朱长纯,侯洵,张景文,杨晓东,徐庆安,曾凡光;ZnO薄膜的制备和结构性能分析[J];真空科学与技术;2004年06期
10 张建泉,陈荣华,强希文,刘锋;激光产生的激波在靶材中的传播及层裂效应[J];中国激光;2002年03期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 夏慧;韩雪;吴丽君;;靶材及其应用[A];中国有色金属学会第三届学术会议论文集——科学技术论文部分[C];1997年
2 申林;熊胜明;刘洪祥;李凌辉;张云洞;;氧化物激光薄膜的离子束溅射制备技术[A];第七届全国激光科学技术青年学术交流会专辑[C];2003年
3 王磊;杜军;刑光健;熊玉华;苑鹏;尉秀英;;二氧化锡薄膜的制备与XRD分析[A];第十二届中国固态离子学学术会议论文集[C];2004年
4 张之圣;李晓云;陈金亭;;信息功能薄膜器件[A];中国仪器仪表学会第三届青年学术会议论文集(下)[C];2001年
5 姚吉升;唐三川;陈坚;王玺;周友元;黄军武;;ITO靶材在溅射过程中结瘤行为的研究[A];中国真空学会五届三次理事会暨学术会议论文集[C];2002年
6 杨晓杰;许小亮;谢家纯;徐传明;徐军;刘洪图;;ZnO同质p-n结的研究[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年
7 徐立君;张喜和;倪晓武;毕娟;;不同光斑半径的连续激光作用金属靶材的温度场[A];2007年先进激光技术发展与应用研讨会论文集[C];2007年
8 李喜峰;王颖华;李桂锋;张群;黄丽;章壮健;;渠道火花烧蚀法制备p型透明氧化物半导体薄膜[A];中国真空学会2006年学术会议论文摘要集[C];2006年
9 刘秀梅;贺杰;陆建;倪晓武;;固壁旁激光空泡生长和溃灭特性的实验研究[A];2008年激光探测、制导与对抗技术研讨会论文集[C];2008年
10 姜燮昌;;平板显示用ITO膜的大量生产技术[A];中国真空学会科技进步奖(1994-2000)得奖人员论文集[C];2000年
中国重要报纸全文数据库 前9条
1 宁波江丰电子材料有限公司副总经理 王学泽;推动国内靶材产业链建设[N];中国电子报;2010年
2 本报记者 诸玲珍;ITO靶材:资源优势明显 工艺研发取得突破[N];中国电子报;2009年
3 中色(宁夏)东方集团有限公司 张红梅 孙本双 刘孝宁;ITO靶材向大尺寸高密度方向发展[N];中国电子报;2009年
4 大连交通大学光电材料与器件研究所所长 柴卫平;打破技术壁垒 加快ITO靶材产业化进程[N];中国电子报;2009年
5 熊晓东;国产靶材希望获得更多验证机会[N];中国电子报;2011年
6 姜小莉;65岁回国创业[N];常州日报;2009年
7 罗清岳;无机EL发展及技术状况(下)[N];电子资讯时报;2006年
8 北京七一八友晟电子有限公司RMK生产线产品负责人 曾炀;升级换代加速 薄膜片式电阻前景看好[N];中国电子报;2009年
9 ;IBM实现观察沉积过程的技术[N];计算机世界;2003年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 诸葛飞;Al-N共掺法生长p型ZnO及ZnO同质p-n结的制备[D];浙江大学;2005年
2 房然然;高能激光烧蚀靶材动力学研究[D];华中科技大学;2009年
3 胡文成;热释电机理及BST薄膜性能研究[D];电子科技大学;2008年
4 车志刚;微尺度激光冲击强化金属靶材数值模拟与实验研究[D];华中科技大学;2009年
5 董树荣;微波介质陶瓷薄膜的研究[D];浙江大学;2003年
6 周幼华;脉冲激光沉积法制备β-FeSi_2半导体薄膜的研究[D];华中科技大学;2007年
7 张凌;固态工质激光推进的机理研究[D];中国科学技术大学;2008年
8 王光伟;钴镍与锗硅薄膜的固相反应及肖特基接触特性研究[D];复旦大学;2004年
9 张弘;自旋电子学相关研究[D];兰州大学;2009年
10 杨铭;NiO基p型透明导电氧化物薄膜及其二极管的研究[D];复旦大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 许健;脉冲激光与水下金属靶材相互作用力学效应的实验研究[D];南京理工大学;2010年
2 张正海;Al-N共掺法制备P型ZnO及其性能研究[D];浙江大学;2005年
3 翟玉忠;激光作用水中靶材热作用分析[D];南京理工大学;2007年
4 胡德志;脉冲激光沉积过程中的一个新的综合模型[D];华中科技大学;2007年
5 范子嘉;长脉冲激光与金属相互作用的热分析[D];长春理工大学;2010年
6 王树林;ITO薄膜的制备及性能研究[D];武汉理工大学;2004年
7 胡春香;脉冲激光制备ZnO薄膜机理的研究[D];江西师范大学;2007年
8 张凯;Cd掺杂BZN薄膜的制备和性能研究[D];电子科技大学;2007年
9 孙伟;飞秒激光损伤阈值对表面态依赖物理机制的研究[D];吉林大学;2009年
10 施展;p型Cu_(1-x)Ni_xO透明氧化物半导体薄膜的制备及性能分析[D];复旦大学;2009年
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