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《2004年光学仪器研讨会论文集》2004年
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薄膜滤光片淀积过程实时光学监控系统

林宇翔  章岳光  顾培夫  唐晋发  
【摘要】:介绍了一种薄膜制造实时光学监控系统,对监控系统的组成及各个模块的功能和工作原理进行分析。系统由计算机对信号进行采集、分析和判断,根据膜层的不同特点采取相应的监控方式,可以对各种规整和非规整膜系进行监控,自动开闭蒸发源挡板。

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