离子束刻蚀光学薄膜的速率定标技术

【摘要】：离子束刻蚀技术现在越来越多被应用在可见光乃至红外薄膜中,在这一技术中最为关键的环节就是如何精确地测量离子源对薄膜的刻蚀速率,此速率因不同材料不同工艺条件而变化。现在利用光谱测量与数据拟合的方法,能够快速简便地测定出被刻蚀的材料的物理厚度,从而标定离子束刻蚀的速率。

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中国期刊全文数据库

前20条

1	仲永安;固体光学薄膜结构研究的一些进展[J];物理;1981年11期
2	吴周令,范正修,王之江;强激光对薄膜的损伤研究[J];物理;1991年03期
3	沈元华;软X射线波段的光学薄膜[J];激光与红外;1991年05期
4	;其它[J];中国光学与应用光学文摘;2000年02期
5	占美琼;;提高光学薄膜激光损伤阈值的途径[J];上海第二工业大学学报;2010年04期
6	张福初;赵福庭;;美国第三届光学干涉薄膜讨论会论文简介[J];激光与红外;1984年12期
7	林开华;郑宣明;;反应性离化团束制备光学薄膜新技术[J];光学精密工程;1991年05期
8	饶觉陶,梁瑾青,李科;光学薄膜保护封闭漆[J];光学技术;1999年01期
9	;光学薄膜参数测试[J];中国光学与应用光学文摘;2000年02期
10	谈恒英,刘鹏程,施柏煊;激光光热偏转成象法无损检测光学薄膜的激光损伤[J];光子学报;2005年01期
11	范正修;光学薄膜的损耗[J];中国激光;1981年08期
12	唐晋发;;光学薄膜进展[J];激光与红外;1985年06期
13	赵俊民;;全国光学薄膜技术学术交流会在西安召开[J];应用光学;1987年06期
14	张伟;沈红兵;赵恒谦;;光学薄膜的色散[J];应用光学;1988年04期
15	杨亚生;;光学薄膜膜厚监控中极值法的应用[J];半导体光电;1989年02期
16	韩季之;光学薄膜抗激光损伤的测量[J];激光与红外;1991年05期
17	张伟;赵恒谦;杨茂华;李庆波;;沿膜厚方向的簿膜非均匀折射率及其色散测量[J];应用光学;1991年06期
18	黄印权;;1.06μm激光对光学薄膜的损伤[J];红外与激光工程;1992年04期
19	朱震;激光与红外技术中应用的光学薄膜[J];激光与红外;1993年02期
20	王建成;王喜中;韩丽瑛;;光学薄膜的反应离子镀概述[J];河南师范大学学报(自然科学版);1993年02期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	林炳;刘定权;张凤山;;离子束刻蚀光学薄膜的速率定标技术[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
2	洪冬梅;朱震;刘国喜;;激光器使用的光学薄膜[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
3	洪冬梅;陈生;曹海云;朱震;王春;;红外用光学薄膜[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
4	姚兰芳;沈军;汪国庆;吴广明;吴兆丰;王珏;;蒸发诱导自组装法制备多孔二氧化硅光学薄膜[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
5	王济洲;熊玉卿;刘宏开;陈焘;;一种双通道窄带滤光片的设计与制备(英文)[A];真空技术与表面工程——第九届真空冶金与表面工程学术会议论文集[C];2009年
6	王济洲;熊玉卿;刘宏开;王多书;;一种双通道窄带滤光片的设计与制备[A];第九届真空冶金与表面工程学术会议论文摘要集[C];2009年
7	闫宏;赵福庭;;光学薄膜领域反应磁控溅射技术的进展[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
8	饶觉陶;梁瑾青;李科;;光学薄膜保护封闭漆[A];现代光学制造技术论文集[C];2002年
9	张殷华;黄伟;张云洞;;光学薄膜附着力测量方法[A];光电技术与系统文选——中国光学学会光电技术专业委员会成立二十周年暨第十一届全国光电技术与系统学术会议论文集[C];2005年
10	沈正祥;王占山;马彬;徐敬;陈玲燕;;利用功率谱密度函数表征光学薄膜基底表面粗糙度[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	本报记者马守贵;你还记得乐凯吗[N];中国化工报;2011年
2	万军;光学薄膜与材料领域的领军人[N];中国企业报;2011年
3	常建龙　王婧郝晓丽;徐耀：光学薄膜领域的探索者[N];科技日报;2011年
4	证券时报记者李小平;康得新有望替代三星供货京东方[N];证券时报;2011年
5	本报记者赵芮　孙晓青李湘虹;他从“千人计划”中脱颖而出[N];人民日报海外版;2009年
6	DisplayBank;光学薄膜核心专利日本企业的申请数位居前列 FUJI FILM偏光板用核心专利名列各企业之首[N];电子资讯时报;2007年
7	记者郭瑞坤　张小明;ST天龙子公司光学薄膜项目开工[N];上海证券报;2011年
8	荣超;中光学欲“影”响世界[N];人民邮电;2010年
9	余卫华;富士胶片计划增产液晶用光学薄膜三成[N];电子资讯时报;2008年
10	本报记者郑惠华;中国乐凯 “变身”光学薄膜制造商[N];河北经济日报;2011年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	周小为;大口径衍射光学元件的离子束刻蚀及相关问题的研究[D];中国科学技术大学;2010年
2	白胜元;光学薄膜设计及其在光波分复用系统中的应用[D];浙江大学;2001年
3	薛晖;光学薄膜光学特性检测中若干关键问题的研究[D];浙江大学;2009年
4	韩军;光学膜厚宽带监控关键技术研究[D];西安电子科技大学;2011年
5	李再金;半导体激光器腔面光学膜关键技术研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2010年
6	董晓浩;X射线光束线仪器与条形射频源离子束刻蚀设备研制若干问题研究[D];中国科学技术大学;2007年
7	沈伟东;基于MOEMS技术的光学调制器研究[D];浙江大学;2006年
8	史金辉;消偏振分光镜的设计与特性分析[D];哈尔滨工程大学;2007年
9	林慧;极紫外多层膜光栅的浮雕衬底制作及衍射效率测量与分析[D];清华大学;2009年
10	王成;介质薄膜膜基体系力学光学特性研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2005年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	刘鹏程;光热偏转法评价光学薄膜的激光损伤[D];浙江大学;2003年
2	张淑娜;光学薄膜相位特性测试的研究[D];浙江大学;2011年
3	史金辉;消偏振分光棱镜膜系分析与设计[D];哈尔滨工程大学;2005年
4	宋玲玲;光学薄膜优化设计的实现[D];合肥工业大学;2006年
5	林宇翔;光学薄膜厚度实时监控系统及其反演的研究[D];浙江大学;2004年
6	鞠兵;高精度数字式光学膜厚监控系统的研制[D];四川大学;2005年
7	冯君刚;反可见、中红外透10.6μm高能激光分色镜的研制[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2005年
8	林琦;高能激光与光学介质薄膜作用机理的研究[D];长春理工大学;2010年
9	黄昱勇;光学薄膜在投影显示和光开关中的应用[D];浙江大学;2002年
10	邓洪祥;高功率激光作用下光学薄膜的场损伤研究[D];电子科技大学;2007年

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