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《中国仪器仪表学会学术论文集》2004年
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自混合干涉微位移传感器

王鸣  聂守平  李明  李达成  
【摘要】:有许多测量微位移的光干涉方法,然而难以实现结构紧凑、价格低的测量系统,因为这些传统干涉方法都需要许多光学元器件。提出用激光自混合干涉术测量微位移,分析和讨论了自混合干涉信号的产生和处理方法,用快速傅立叶变换(FFT)相位探测技术分析自混合干涉信号,可提高相位测量精度。提出的传感器可以用于亚微米级位移的测量和控制,并给出了PZT位移的实验结果。

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