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《首届信息获取与处理学术会议论文集》2003年
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用于集成磁传感器的热稳定巨磁电阻自旋阀

曲炳郡  任天令  刘华瑞  刘理天  库万军  李志坚  
【摘要】:研制了一种传统结构的上钉扎巨磁电阻自旋阀,其结构为:Ta(6nm)/Ni_(81)Fe_(19)(4.5nm)/Co_(90)Fe_(10)(1nm)/Cu(1.8nm)/Co_(90)Fe_(10)(3.5nm)/Ir_(20)Mn_(80)(11nm)/Ta(3nm)。该自旋阀磁电阻变化率大(9.15%),交换场高(约200Oe),矫顽力低(0.85Oe),灵敏度高,且具有良好的热稳定性,加之与IC工艺兼容,因而是一种制作集成磁场传感器的理想结构。

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