收藏本站
《首届信息获取与处理学术会议论文集》2003年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

氧化钒热敏特性研究

吴志明  蒋亚东  牟宏  黄春华  
【摘要】:采用金属钒作为靶材,利用反应磁控溅射工艺制备了氧化钒薄膜。分析了改变溅射总压,溅射时间,溅射温度等工艺参数对薄膜电特性的影响,探索了氧化钒的成膜工艺。并讨论了不同工艺条件下薄膜方阻,薄膜电阻温度特性。最后对样品进行了XPS分析。

手机知网App
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 吴广明,吴永刚,倪星元,周箴,吴翔;五氧化二钒薄膜结构与电致变色效应[J];太阳能学报;1999年04期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 杨绍利,徐楚韶,陈厚生,胡再勇;工业五氧化二钒制备V_2O_5半导体薄膜分析[J];重庆大学学报(自然科学版);2002年05期
2 袁宁一,李金华,林成鲁;氧化钒薄膜的结构、性能及制备技术的相关性[J];功能材料;2001年06期
3 李莉,童茂松,翁爱华;V_2O_5薄膜在传感器上的研究进展[J];功能材料;2005年10期
4 杨绍利,徐楚韶,胡再勇,陈光碧;V_2O_5薄膜的导电特性研究[J];钢铁钒钛;2001年04期
5 雷德铭,何山,傅群,郑臣谋;VO_2纳米粉体与纳米晶功能陶瓷的制备与特性[J];哈尔滨理工大学学报;2002年06期
6 孟献丰,陆春华,倪亚茹,张其土,许仲梓;激光技术的应用与防护[J];红外与激光工程;2005年02期
7 孟献丰,陆春华,张其土,倪亚茹,许仲梓;激光防护材料的研究进展[J];激光与红外;2005年02期
8 刘大军,何兴权,段潜,王立杰,邹颖;激光防护材料的研究现状[J];激光杂志;2002年06期
9 茹国平,曹永峰,李炳宗;微测辐射热计用氧化钒薄膜制备及特性[J];微细加工技术;2002年04期
10 吴志明,蒋亚东,牟宏,黄春华;氧化钒热敏特性研究[J];仪器仪表学报;2003年S2期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 吴志明;蒋亚东;牟宏;谢光忠;王波;;磁控溅射氧化钒薄膜的研究[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 袁宁一;氧化钒红外敏感膜和非致冷焦平面成像阵列研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2002年
中国硕士学位论文全文数据库 前6条
1 胡再勇;二氧化钒薄膜的相变性能研究[D];重庆大学;2002年
2 牟宏;氧化钒热敏感材料的制备及微桥结构设计研究[D];电子科技大学;2003年
3 施萍萍;电致变色WO_x和WO_x:Mo薄膜的制备及其特性研究[D];重庆大学;2004年
4 林华;纳米二氧化钒粉体制备及掺杂对其相变性能影响的研究[D];重庆大学;2004年
5 范樵乔;掺钨二氧化钒纳米粉体的制备及其相变性能的研究[D];四川大学;2006年
6 蔡明;V_2O_5离子存储薄膜的制备及其Ni掺杂改性研究[D];重庆大学;2007年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 吴广明,吴永刚,倪星元,周箴,张慧琴,吴翔,陈炎;锂离子注入对V_2O_5薄膜光吸收的影响[J];光学学报;1999年05期
2 吴广明,吴永刚,倪星元,周箴,张慧琴,谢惠云,金哲民,吴翔;全固态电致色灵巧窗的研究进展[J];真空科学与技术学报;1997年04期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 刘鹏;周勤奋;陶梦江;;电阻应变式传感器在检测中的应用[J];科技致富向导;2011年21期
2 殷建玲;刘军;程群;;SLD光源与温控电路匹配特性研究[J];半导体光电;2011年03期
3 傅博;马炳和;邓进军;董拴成;;柔性热敏薄膜传感器阵列工艺研究[J];航空精密制造技术;2011年04期
4 司倩倩;董力群;张连凯;;线圈材料对电涡流传感器温漂特性影响研究[J];传感器世界;2011年05期
5 ;[J];;年期
6 ;[J];;年期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 吴志明;蒋亚东;牟宏;黄春华;;氧化钒热敏特性研究[A];首届信息获取与处理学术会议论文集[C];2003年
2 黎文模;陈向东;;氧化钒薄膜电阻PSPICE模型及特性分析[A];2004全国图像传感器技术学术交流会议论文集[C];2004年
3 吴志明;蒋亚东;牟宏;谢光忠;王波;;磁控溅射氧化钒薄膜的研究[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
4 王银玲;李美成;李洪涛;赵连城;;用于微测辐射热计的氧化钒薄膜的光电性能研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
5 陈文;麦立强;祁琰媛;余华;彭俊锋;;PEO修饰对氧化钒纳米管结构和电化学性能的影响[A];2004年中国材料研讨会论文摘要集[C];2004年
6 王彬;赖建军;赵二景;陈四海;;基于多孔硅牺牲层的线列氧化钒非制冷红外探测器制备[A];第十三届全国红外加热暨红外医学发展研讨会论文及论文摘要集[C];2011年
7 吴淼;胡明;刘志刚;;直流对靶溅射制备氧化钒薄膜的研究[A];中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议论文摘要集[C];2004年
8 王彬;赖建军;赵二景;陈四海;;基于多孔硅牺牲层的线列氧化钒非制冷红外探测器研究[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
9 杨旭;蔡长龙;周顺;刘欢;;直流磁控溅射制备氧化钒薄膜[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
10 杨旭;蔡长龙;周顺;刘欢;;直流磁控溅射制备氧化钒薄膜[A];2009年西部光子学学术会议论文摘要集[C];2009年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 唐诗全 彭毅;攀钢两项创新型环保技术有望开花结果[N];中国冶金报;2007年
2 周军 杨勇斌 记者 张春;攀钢氧化钒年产量首破万吨大关[N];四川日报;2009年
3 刘勘;G承钒钛:具有独特资源产品估值优势[N];中国有色金属报;2006年
4 陈东辉 于俊春 孙赛男;承德钒钛竖式炉三步法氧化钒生产装置开发成功[N];世界金属导报;2008年
5 唐诗全 彭毅;攀钢开展高起点高难度环保课题研究[N];世界金属导报;2007年
6 记者 周军 通讯员 王彦华;攀钢专利“趟出”世界钒业新路[N];中国冶金报;2010年
7 ;流沙型高纯钒化合物生产技术[N];科技日报;2007年
8 周有恒;前程似锦的新材料———碳纳米管[N];中国化工报;2002年
9 ;又好又快,“好”在哪里[N];四川日报;2007年
10 ;7月国际市场大宗商品价格综述[N];中国贸易报;2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 王彬;高灵敏氧化钒非致冷红外探测器研究[D];华中科技大学;2012年
2 田雪松;用于抗激光致盲的氧化钒薄膜制备及光学相变特性研究[D];哈尔滨工业大学;2008年
3 徐金杰;金属氧化物的表面和界面物理、化学特性研究[D];吉林大学;2005年
4 吴淼;非制冷红外探测器用高TCR氧化钒薄膜的制备研究[D];天津大学;2005年
5 吕宇强;氧化钒薄膜材料及非制冷红外探测器微结构设计的研究[D];天津大学;2007年
6 梁继然;微测辐射热计用氧化钒薄膜的制备及其电阻温度性能研究[D];天津大学;2007年
7 何少伟;微纳VO_2薄膜特性及其应用研究[D];华中科技大学;2008年
8 关业军;二恶英吸附及CeO_2和VO_x/CeO_2催化剂上氯苯催化氧化研究[D];中国科学院研究生院(大连化学物理研究所);2007年
9 裴素朋;含钒氧化物和复合氧化物催化剂的制备及其在甲烷和丙烷选择氧化反应中的应用研究[D];复旦大学;2007年
10 袁宁一;氧化钒红外敏感膜和非致冷焦平面成像阵列研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2002年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 卢小铃;氧化钒光伏特性及其应用研究[D];电子科技大学;2011年
2 黎文模;氧化钒非致冷红外探测器阵列读出电路结构研究[D];西南交通大学;2006年
3 陈涛;利用金属氧化法在不同衬底上制备氧化钒薄膜的研究[D];天津大学;2008年
4 甄志成;微测辐射热计制造工艺与品质测试研究[D];天津大学;2008年
5 邓延佳;金属膜正温度系数热敏材料的研究[D];华中科技大学;2008年
6 尚东;适用于非制冷红外探测器的氧化钒薄膜制备及电学性质研究[D];四川大学;2005年
7 杨华荣;大功率厚膜电阻浆料的研究[D];国防科学技术大学;2004年
8 韩雷;利用对靶磁控溅射在不同衬底上制备氧化钒薄膜的研究[D];天津大学;2007年
9 刘方;基于MEMS技术的热剪切应力传感器的设计与制作[D];华中科技大学;2007年
10 巢昆;低价氧化钒和钒酸盐纳米结构的合成与表征[D];青岛科技大学;2008年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026