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《首届信息获取与处理学术会议论文集》2003年
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新型室温工作微机械红外探测器

李兰  刘铮  邹德恕  沈光地  
【摘要】:提出一种基于特殊红外吸收机理和先进微机械加工技术实现的新型室温工作红外探测器。利用在特定波段对红外辐射有强烈吸收的气体作为吸收红外辐射的媒质,采用微机械加工方法制作带有弹性敏感薄膜的微气室和微电容检测结构将吸收的红外辐射能量转换为弹性薄膜的机械形变引起电容变化并通过电学方法检测,从而实现灵敏而快速的室温红外探测器件,尤其在8~14μm有良好的应用前景。

【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 董欣,吴畯苗,邹德恕,史衍丽,邓军,杜金玉,高国,沈光地;硅-玻璃静电键合中的电流-时间特性分析[J];传感器技术;2001年03期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前1条
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中国硕士学位论文全文数据库 前2条
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【相似文献】
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中国重要会议论文全文数据库 前10条
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中国博士学位论文全文数据库 前10条
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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7 董宏奎;石英微机械振动陀螺薄膜相关技术研究[D];电子科技大学;2009年
8 姜啸宇;红外阵列探测器及边缘检测的研究[D];天津理工大学;2012年
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10 王高峰;线列红外探测器成像与评价系统设计[D];天津大学;2012年
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