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《中国仪器仪表学会第五届青年学术会议论文集》2003年
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MEMS粘附问题研究

田文超  贾建援  
【摘要】:针对MEMS粘附现象,论述了有关粘附问题的研究现状,揭示了粘附的本质和研究范围,介绍了目前研究粘附问题所用的分子动力学、连续介质法、准连续介质法、蒙特卡罗法及纳米压痕法和悬臂梁法等各种计算和实验的前沿方法,并对粘附研究的发展提出了初步展望。

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