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《中国仪器仪表学会第五届青年学术会议论文集》2003年
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MEMS动态测试系统中频闪驱动电路的实现

金翠云  李一博  靳世久  王立坤  
【摘要】:在MEMS动态测试过程中,由于MEMS器件的运动频率都比较高,如何获得高速运动的MEMS器件的清晰图像,是MEMS动态特征提取与分析的前提。本文基于机器微视觉的MEMS动态测试系统,设计了一套频闪驱动电路,用于采集高速运动的MEMS器件的清晰图像。从而为后续MEMS器件动态特征的提取和分析做充分的准备。

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【参考文献】
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