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《MICONEX2002仪器仪表与自动化技术发展学术大会会议指南》2002年
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中国MEMS的研究与开发进程(简稿)

王立鼎  
【摘要】:微机电系统(Micro Electro Mechanical Systems)是80年代发展起来的新兴交叉学科,其系统包括能源、微驱动器、微执行器、微传感器、微控制器以及与外界的接口等。由于该系统能够实现各类产品的微型化、集成化与便携化,因而在天上、地面和海洋的诸多领域有广泛的应用与产业前景。本文概括地介绍微机电系统学科的重大意义,十三年来中国MEMS研发的总体概况,以及关注的热点。
【作者单位】:大连理工大学微系统研究中心
【分类号】:F426.63

【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 王立鼎,刘冲;微机电系统科学与技术发展趋势[J];大连理工大学学报;2000年05期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 褚金奎,郝秀春,王立鼎;拓扑优化方法的研究现状及在微机构设计中的应用[J];微纳电子技术;2003年Z1期
2 马官营;颜国正;于莲芝;施建;;人体消化道内微机电系统线圈耦合系数分析[J];北京生物医学工程;2006年05期
3 王沫然,李志信;基于MEMS的微泵研究进展[J];传感器技术;2002年06期
4 徐鹏,祖静,林祖森;微加速度计的力学分析[J];传感器技术;2002年06期
5 李新,唐祯安,徐军;用于微机电系统的类金刚石膜制备及表征[J];材料研究学报;2004年06期
6 李强,吴宇列,李圣怡;经济型微机电台阶测量仪的研究[J];航空精密制造技术;2005年03期
7 黄凯;微泵概念设计的FBS模型[J];机械工程师;2002年06期
8 郝秀春,褚金奎,王立鼎;微夾钳的拓扑优化设计[J];机械科学与技术;2004年11期
9 王海容,赵则祥,蒋庄德;大行程纳米分辨率加载机构的研制[J];机械强度;2001年04期
10 高峰;机构学研究现状与发展趋势的思考[J];机械工程学报;2005年08期
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 贾智;微电子机械系统中新型电磁微电机的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
2 王沫然;微纳尺度气体流动和换热的Monte Carlo模拟[D];清华大学;2004年
3 曹彬;微通道反应器的传递和反应特性[D];中国科学院研究生院(大连化学物理研究所);2005年
4 白兰;基于MEMS的无阀泵数值仿真与实验研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2005年
5 佟建华;压电双晶梁在微电机及微力传感器上的应用研究[D];大连理工大学;2006年
6 柯才军;微透镜阵列的设计、制作及与CCD的集成技术[D];华中科技大学;2005年
7 金翠云;MEMS平面微运动测量的若干关键技术研究[D];天津大学;2004年
8 罗振兵;合成射流/合成双射流机理及其在射流矢量控制和微泵中的应用研究[D];国防科学技术大学;2006年
9 俞必强;多学科设计优化及在MEMS设计中应用的研究[D];北京科技大学;2006年
10 王卫东;面向MEMS设计的微流体流动特性研究[D];西安电子科技大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 林胜勇;MEMS中多能量场耦合问题数值方法研究[D];西北工业大学;2001年
2 王英翘;三维微操作运动及定位控制的研究[D];大连理工大学;2002年
3 宋展;显微图象特征匹配与三维显示初步研究[D];大连理工大学;2003年
4 唐华锋;MEMS工艺集成化设计及其可视化[D];西北工业大学;2003年
5 李仁锋;MEMS高g值加速度计设计技术研究[D];中国工程物理研究院北京研究生部;2003年
6 李勇;微夹持理论与系统的研究[D];清华大学;2002年
7 杨朝辉;扁平驻极体微电机的研究与仿真[D];西北工业大学;2004年
8 陈宏江;显微立体视觉系统中立体匹配的研究[D];河北工业大学;2004年
9 朱迅;聚合物微流控芯片的激光加工技术研究[D];浙江大学;2004年
10 孟宇;固壁轴向导热对微小管内对流换热影响的实验研究[D];清华大学;2004年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 王立鼎,吴一辉;抓住机遇,推动我国微型机械的快速发展[J];中国机械工程;1999年02期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 刘文平;史翔;;科技研发与成果转化的一体化实现——以南京康尼机电股份有限公司为例[J];南京工程学院学报(社会科学版);2011年01期
2 徐安安;;论MEMS传感器的应用与发展[J];现代商贸工业;2011年13期
3 王莹;;勇闯移动互联路[J];电子产品世界;2011年07期
4 ;[J];;年期
5 ;[J];;年期
6 ;[J];;年期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 王立鼎;;中国MEMS的研究与开发进程(简稿)[A];MICONEX2002仪器仪表与自动化技术发展学术大会会议指南[C];2002年
2 陈新隽;刘晓平;戴若犁;刘昊扬;;多MEMS传感器的嵌入式姿态测量系统设计[A];2011年机械电子学学术会议论文集[C];2011年
3 梁杰;李中华;;MEMS的微管道流动特征数值模拟研究[A];2003空气动力学前沿研究论文集[C];2003年
4 于华男;张勇;马小艳;;制导弹药用MEMS惯性导航系统发展与关键技术综述[A];微机电惯性技术的发展现状与趋势——惯性技术发展动态发展方向研讨会文集[C];2011年
5 张玉祥;李华成;马柳艺;;基于MEMS器件的交互笔运动跟踪研究[A];第九届全国信息获取与处理学术会议论文集Ⅰ[C];2011年
6 胡星星;滕云田;;基于MEMS传感器的小型智能化强震仪[A];中国地震学会第14次学术大会专题[C];2012年
7 李建飞;薛兵;张俊峰;朱小毅;王晓蕾;;应用于MEMS加速度计的小型恒温系统的实现[A];中国地震学会第14次学术大会专题[C];2012年
8 张文明;孟光;;MEMS旋转机械微转子结构的材料选用研究[A];第9届全国转子动力学学术讨论会ROTDYN'2010论文集[C];2010年
9 陈述官;黄军辉;;MEMS传感器在汽车电子上的应用研究与展望[A];教育部中南地区高等学校电子电气基础课教学研究会第二十届学术年会会议论文集(下册)[C];2010年
10 赵兴海;杜亦佳;郑英彬;陈颖慧;高杨;鲍景富;苏伟;;D波段MEMS波导滤波器研究[A];2011年全国微波毫米波会议论文集(下册)[C];2011年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 ;测试会议聚焦MEMS[N];计算机世界;2003年
2 ;欧洲的MEMS工业[N];中国电子报;2002年
3 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 焦继伟;MEMS满足未来移动通信需要[N];中国电子报;2004年
4 易人;MEMS:小角色的大未来[N];计算机世界;2003年
5 ;Intel悄然推出手机MEMS模块[N];计算机世界;2004年
6 刘恕;微机电系统:从能看到能用[N];科技日报;2005年
7 本报记者 徐勐 通讯员 苏媛;国家高新区MEMS研究院落户淄博[N];淄博日报;2010年
8 ;传感器热衷于MEMS市场将加速整合[N];电子报;2008年
9 记者 卫新华;我市全面启动MEMS研发和产业化工作[N];重庆日报;2001年
10 中电元协敏感元器件与传感器分会秘书长 齐文杰;MEMS传感器进驻汽车发动机[N];中国电子报;2004年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 董良;MEMS集成室温红外探测器研究[D];清华大学;2004年
2 杨海波;多孔硅基MEMS非制冷红外探测器微结构与工艺研究[D];天津大学;2010年
3 张正元;射频微机械开关与放大器关键技术研究[D];重庆大学;2004年
4 王佩红;基于MEMS技术的微型电磁式振动能量采集器的研究[D];上海交通大学;2010年
5 肖功利;MEMS金属/电介质光子晶体的强透射特性研究[D];复旦大学;2009年
6 李庄;用于高场不对称波形离子迁移谱仪的MEMS振簧式静电计研究[D];中国科学技术大学;2010年
7 王春田;MEMS数字检波器采集系统技术研究[D];中国地质大学(北京);2011年
8 关乐;基于宏模型技术的MEMS系统级仿真研究[D];大连理工大学;2011年
9 杜广涛;新型MEMS磁敏传感器的研究[D];西南交通大学;2011年
10 吕良;MEMS汽车传感器设计关键技术的研究[D];北京邮电大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 宿智娟;MEMS宽带毫米波天线阵列研究[D];上海交通大学;2010年
2 付宇辉;基于MEMS航位推算系统的设计与实现[D];哈尔滨工程大学;2010年
3 曾昊骋;MEMS开关与频率可重构天线的研究与设计[D];电子科技大学;2010年
4 华晨辉;MEMS超声分离器的二维简正模式的研究及实验分析[D];电子科技大学;2010年
5 赵明锐;基于MEMS硅基底L波段微带天线的研究与设计[D];电子科技大学;2010年
6 孟丽娜;基于MEMS的微驱动器研制及其特性研究[D];黑龙江大学;2005年
7 苑海静;船用MEMS航姿测量系统算法研究与实现[D];哈尔滨工程大学;2010年
8 牛凯;4×4MEMS光开关阵列的设计与实验研究[D];清华大学;2004年
9 赵磊;梳齿式MEMS光开关的分析与改进[D];西安电子科技大学;2010年
10 孙发威;扭臂式MEMS光开关的建模与优化[D];西安电子科技大学;2010年
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