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基于MEMS技术的微型电磁继电器的研究

张宇峰  张鹏飞  李德胜  王东宏  
【摘要】:本文探讨了一种基于MEMS技术的微型电磁继电器的制造工艺。该继电器的特点是体积小、重量轻、寿命长等,在性能上介于普通电磁继电器和固态继电器之间,在制造工艺上类似固态继电器,因此可望大幅度降低造价,是一种有前途的新型继电器。

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