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《中国仪器仪表学会第三届青年学术会议论文集(上)》2001年
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微尺寸探针测量技术

孙涛  阎永达  王洪祥  董申  
【摘要】:原子力微探针具有极高的垂直方向位置灵敏度,其针尖半径可达几十纳米量级,这就为微纳米尺度的三维坐标测量提供了可能性。本文基于原子力微探针瞄准原理并结合二维微位移系统和高精度电容传感器,研制了微尺寸测量系统。

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【共引文献】
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1 褚巍,赵学增,肖增文,王凌;纳米尺度线宽测量技术的研究[J];东北电力学院学报;2004年04期
2 赵克功;当代计量学的现状和发展②——20世纪的度量衡,21世纪的量子计量学[J];大学物理;2002年03期
3 赵清亮,王景贺,李旦,董申;扫描探针显微镜的最新技术进展及应用[J];电子显微学报;2000年01期
4 游俊富,王虎,赵海山;扫描探针显微镜与分析测量仪器的组合应用[J];分析仪器;2004年03期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 卢明臻;高思田;杜华;崔建军;;大范围纳米结构测量系统原子力测头的研究[A];2007'中国仪器仪表与测控技术交流大会论文集(二)[C];2007年
2 施玉书;高思田;卢明臻;崔建军;杜华;;新型纳米级倍光程激光干涉系统[A];2007'中国仪器仪表与测控技术交流大会论文集(二)[C];2007年
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3 黄自元;扫描探针显微镜智能自动化策略研究及应用[D];上海大学;2004年
4 柳忠尧;用于掩模板表面形貌测量的外差干涉显微系统的研究[D];清华大学;2004年
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6 夏豪杰;高精度二维平面光栅测量系统及关键技术研究[D];合肥工业大学;2006年
7 李洪波;基于AFM的刻线边缘粗糙度测量技术研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
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9 李彦;金属腐蚀研究中具有时间—空间分辨的电化学技术[D];厦门大学;2009年
10 王岳宇;AFM恒力模式下倾角和摩擦力对测量结果影响的研究[D];哈尔滨工业大学;2008年
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9 王永洪;赵鸿林;侯文郁;郑义中;;电容传感器在测量球面时的 误 差 分 析[J];宇航计测技术;1984年06期
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