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《中国仪器仪表学会第三届青年学术会议论文集(上)》2001年
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薄膜式锰铜传感器的超高压力标定

杜晓松  郝建德  杨邦朝  周鸿仁  
【摘要】:为拓展锰铜传感器的高压测试上限,本文采用薄膜技术研制了一种新型的锰铜传感器。该传感器采用氧化铝封装,后置式结构,两步薄膜工艺制作。利用二级轻气炮进行了40~107GPa的冲击高压加载,试验波形呈现出一理想的平台,寿命为1μs。标定曲线P_x(GPa)=6.0371+29.819(△R/R_0)+21.591(△R/R_0)~2-6.8267(△R/R_0)~3近似于一条直线,精度达±3%。

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
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3 杜晓松,杨邦朝,王卉;薄膜式锰铜传感器——一种新型的超高压力传感器[J];仪表技术与传感器;2000年01期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前7条
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中国硕士学位论文全文数据库 前2条
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2 李赵春;基于虚拟仪器的自增强超高压测控系统整体方案研究[D];南京理工大学;2004年
【二级参考文献】
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【相似文献】
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