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《第九届全国发光学术会议摘要集》 2001年
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功能材料制备中的等离子体发光与过程选控

方容川  常超  廖源  崔景彪  
【摘要】:正 近代光电子和微电子等功能材料,主要是通过物理气相淀积(PVD)和化学气相淀积(CVD)等薄膜技术制备的。在PVD和CVD材料形成过程中,往往产生等离子体过程并伴随发光。通过对PVD和CVD过程等离子体发光的原位(in situ)测量,可以了解材料形成过程中反应基团的种类及其在反应空间的分布,结合对材料结构和性能的分析,建立起等离子体发光与材料性能之间的关系,找出对

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