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《第十六届全国半导体物理学术会议论文摘要集》2007年
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与标准CMOS工艺兼容的硅基发光器件的研究

王伟  牛萍娟  郭维廉  于欣  杨广华  李晓云  
【摘要】:正受光纤通信与计算机技术发展需求的牵引,加以硅材料在微电子技术中的重要地位的影响,人们希望以高度发展的微电子技术为基础,在硅材料上同时将电路和光路集成在一起,形成光电子集成回路(OEIC),这样就有可能解决电互连出现的瓶颈,其难点在于硅基发光器件的研制。目前硅基发光器件的研究有多种途径,如多孔硅发光、掺 Er 硅发光、硅超晶格材料发光等,这些途径虽
【作者单位】:天津工业大学信息与通讯学院
【分类号】:TN383

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