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《第十六届全国半导体物理学术会议论文摘要集》2007年
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超疏水非晶碳薄膜的制备及其润湿性能研究

李国星  宋雪梅  刘毅  王波  严辉  
【摘要】:正浸润性是固体表面的重要特征之一,它是由表面的化学组成和微观几何结构共同决定。润湿性能的应用极其广泛,微电子工业,印刷工业,造纸工业,交通行业乃至新材料的合成制备以及医药, 生物芯片方面无不与润湿性能有着密切的关系。在光滑表面上只采用化学方法来调节表面自由能, 通常仅能使接触角增加到120°,而不能再高。要达到更高接触角,就必须设计材料的表面微细结构。具有微细粗糙结构的表面(相对小于液滴的微米尺度)将能有效地提高疏(亲)水表面的疏(亲)水性能, 这一现象早在19世纪就已被发现。最近,科研工作者成功地制备出许多具有纳米结构的聚合体。随着微流器件的发展,一些要求高的传导率等性质的器件需要具有超疏水性能。然而,有机化合物由于其较差的热稳定性和机械性能,不能满足很多领域的应用。

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