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GaN基共振腔增强型紫外探测器的研究

江若琏  姬小利  周建军  谢自力  刘斌  韩平  张荣  郑有炓  龚海  
【摘要】:正共振腔增强型紫外光电探测器可以获得很窄的选择响应波长以及良好的带宽效率积,在军事、紫外光通讯等领域有潜在的应用价值,近年来国际上有文献报道了 GaN 基共振腔增强结构的 M-S-M,Scottky 型紫外光电探测器,尚未见 p-i-n 型的。本文报道了目标探测波长为320 nm 的 GaN 基共振腔增强型 p-i-n 紫外光电探测器的设计与制备。探测器以蓝宝石为衬底,GaN 为缓冲层,共振腔以20.5对和5对 A10.3Ga0.7N/AIN 布拉格反射镜分别为底镜和顶镜,腔内由 p-GaN/ i-GaN/

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