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《第十六届全国半导体物理学术会议论文摘要集》2007年
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飞秒激光刻蚀GaAs表面所形成纳米结构的研究

李汐  朱锦涛  黄少华  陆昉  
【摘要】:正本文采用飞秒激光脉冲,在 SF6,N2,空气,低真空等不同的刻蚀氛围下,刻蚀 GaAs(100) 表面,在 GaAS 表面得到比较好的纳米结构,可以产生许多均一的类似小圆柱形的尖峰,尺寸在几十个纳米;不同刻蚀生长氛围下,形貌有所不同。对其表面形貌作了高分辨电镜测试,研究其形成
【作者单位】:复旦大学表面物理国家重点实验室
【分类号】:TN305.7;O472.1

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