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《第十六届全国半导体物理学术会议论文摘要集》2007年
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SiNx钝化对Al×Ga1-xN/GaN异质结构中二维电子气高温输运性质的影响

王茂俊  沈波  黄森  许福军  王彦  许谏  杨志坚  秦志新  张国义  
【摘要】:正Al_xGa_(1-x)N/GaN 异质结构是发展高温、高频、高功率电子器件的优选材料,研究 Al_xGa_(1-x)N/GaN 异质结构中二维电子气(2DEG)的高温输运性质对于理解 Al_xGa_(1-x)N/GaN 异质结构的物理特性以及器件研制具有重要意义。

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