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《第十三届全国电子显微学会议论文集》2004年
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LaAlO_3单晶基片上制备Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3薄膜的透射电镜研究

田焕芳  朱小红  虞红春  刘立宝  陈寒元  张怀若  周玉清  郑东宁  李建奇  
【摘要】:正 铁电钛酸锶钡(Ba_(1-x)Sr_x)TiO_3(BSTO)薄膜材料具有很好的可调性,在微电子工业有广阔的应用前景。本文采用脉冲激光沉积(PLD)技术在(001)LaAlO_3单晶基片上外延生长了Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3薄膜。

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