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《第十三届全国电子显微学会议论文集》2004年
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GaN缺陷晶体高分辨电子显微像的解卷处理

万威  唐春艳  王玉梅  李方华  
【摘要】:正 拍摄高分辨电子显微像时未必总靠近Scherzer聚焦条件,且晶体有一定厚度,致使像未必反映晶体结构。对高分辨像进行解卷处理是校正像中畸变的晶体结构信息并提高图像分辨率的有效方法。本文用高分辨像图像解卷处理方法研究GaN

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