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《第17届全国特种加工学术会议论文集(下册)》2017年
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短脉冲激光诱导等离子体辅助微加工/沉积技术

卢希钊  江开勇  
【摘要】:激光诱导等离子体辅助加工技术是一种利用激光间接作用于硬脆的待加工透明体上,加工微结构、沉积的非接触式加工方式。该蚀刻/沉积方式可在双面抛光的透明体上,利用激光诱导产生的等离子体/离子团聚进行微加工、蚀刻、金属沉积。其中,加工、蚀刻的横截面形状(蚀刻线宽、深度)主要取决于激光参数:脉冲宽度、激光光强、重复频率等,以及透明物质与金属靶(本研究为铜靶)之间的距离。当激光重复频率降低的时候,激光穿透透明物质并获得相应的金属离子沉积,具有一定的电导率。同样地,电导率受激光光强,重复频率,透明物质基底与等离子体发生源(目标)之间的距离影响。本研究主要以蓝宝石为例讲述当激光在蓝宝石表面加工微结构时,刻蚀的线宽和深度主要受调节激光光强,重复频率,扫描速度等,以及蓝宝石与铜块之间的距离的影响规律。通过正确控制激光加工参数,诸如激光光强、重复频率、扫描速度、蓝宝石与铜块之间的距离,调节单晶蓝宝石上沉积金属的电阻率。

【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 吴煜;张高峰;;聚晶金刚石的Nd:YAG激光切割与电火花线切割损伤分析[J];中国机械工程;2010年09期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前4条
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3 宋满仓;张建磊;于超;王敏杰;刘冲;;聚晶金刚石复合片的电火花线切割精密加工试验[J];光学精密工程;2012年06期
4 张献振;刘宝昌;卢彬;赵生庆;;尖齿状金刚石复合片钻头在油页岩矿区的钻进实验[J];探矿工程(岩土钻掘工程);2011年08期
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
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【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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中国重要会议论文全文数据库 前10条
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中国重要报纸全文数据库 前10条
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中国博士学位论文全文数据库 前10条
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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5 杨晓川;激光诱导气体等离子体对甲烷火焰稳定性影响的研究[D];哈尔滨工业大学;2012年
6 周剑武;复杂燃烧环境中含碳颗粒的激光诱导炽光光谱测量实验研究[D];浙江大学;2019年
7 王永强;LIBS技术在中药材微量元素分析中的应用研究[D];西北师范大学;2018年
8 李婉婷;多探头远距离激光诱导击穿光谱技术研究与应用[D];华中科技大学;2018年
9 杨凯;激光诱导等离子体沉积工艺及其应用[D];华中科技大学;2018年
10 王为叶;激光诱导击穿光谱法测定合金化镀锌板镀层中铁含量实验研究[D];东北大学;2017年
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