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激波辅助纯钛微细群孔光刻电解试验研究

江一  汪炜  刘正埙  何铁军  彭昀  
【摘要】:随着微机电系统(MEMS)技术的发展,近年来钛及钛合金的微细群孔加工成为国内外研究的热点。虽然光刻电解加工结合了光刻技术和电解加工两者的优点,可实现高效、高精度金属微细群孔加工。但由于钛及钛合金表面极易钝化,常规电解加工难度很大。采用有机电解液,有效地解决了加工过程中的表面钝化问题。此外,为克服电解加工过程中产物难以排出造成的腐蚀不均匀等难题,进行了激波辅助纯钛微细群孔光刻电解试验研究,在厚100μm纯钛薄板上进行了群孔加工,平均孔径为371μm,材料蚀除速率达到35μm/min。实验结果表明,通过激波产生的瞬时压力扰动,能显著改善极间状态,有效提高加工稳定性和表面质量,尺寸一致性好。

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