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《2007年中国机械工程学会年会论文集》2007年
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利用光刻技术研制雾化器的金属微孔阵列

伊福廷  张菊芳  侯凤杰  
【摘要】:金属微孔在许多领域内有着巨大的需求,电火花、激光打孔、化学腐蚀及光刻等技术被开发用于各种需求的金属微孔加工。迷你雾化器产品需要有一定锥度的金属微孔片,满足该产品的需要,利用光刻和电镀技术完成了该雾化器特殊金属微孔结构的制造。该方法加工的金属片厚50μm,微孔尺寸5μm,分布均匀,雾化颗粒小,雾化效果好,满足了微孔雾化器的特殊需要。

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