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超声电解同步复合微细加工中微位移的实现与检测

李红英  云乃彰  汪建春  朱永伟  
【摘要】:为完善超声电解同步复合微器件微细加工试验系统,设计了微位移工作台和超声阴极工具头微进给机械结构,提出了相应的微位移检测和进给控制方案,进行了一系列基础工艺试验,展示了该技术在提高微细加工精度、加工效率、表面质量等方面的优势,研究成果具有重要理论意义与实用价值。

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