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《2006年中国机械工程学会年会暨中国工程院机械与运载工程学部首届年会论文集》2006年
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基于UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针

明平美  朱荻  胡洋洋  赵波  曾永彬  
【摘要】:介绍了基于UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针的工艺过程,分析了制备的技术关键,试验优选了关键制备环节的工艺参数。试验结果表明:采用优化的工艺条件能低成本制备出形貌质量高、缺陷少的微型柔性镍接触探针。

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【参考文献】
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 明平美;UV-LIGA-微细电火花加工组合制造技术基础研究[D];南京航空航天大学;2006年
【二级参考文献】
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1 甘雪萍,戴曦,张传福;超声空化及其在电化学中的应用[J];四川有色金属;2001年03期
2 刘景全,蔡炳初,陈迪,朱军,赵小林,杨春生;SU-8胶及其在MEMS中的应用[J];微纳电子技术;2003年Z1期
3 张鹏,刘刚,田扬超;Ni和Ni-PTFE自润滑模具的脱模研究[J];微纳电子技术;2003年Z1期
4 秦宁,赵湛,陈绍凤,夏善红;SU-8微针执行器的研究[J];微纳电子技术;2003年Z1期
5 明平美,胡洋洋,朱健;微细电火花加工MEMS器件技术关键分析[J];微纳电子技术;2005年04期
6 王沫然,李志信;基于MEMS的微泵研究进展[J];传感器技术;2002年06期
7 乔桂英,荆天辅,周继锋,于金库,王楠,韩东生;喷射电沉积镍的阴极极化行为[J];材料保护;2004年09期
8 霍孟友,张建华,艾兴;电火花放电加工间隙状态检测方法综述[J];电加工与模具;2003年03期
9 于云霞;微细电火花加工技术的最新进展及应用实例[J];电加工与模具;2003年04期
10 邹丽芸,张院春,彭良强,黄军容,伊福廷,张菊芳,韩勇;基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究[J];电加工与模具;2004年S1期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 徐惠宇;微细电解加工系统及其相关工艺的研究[D];南京航空航天大学;2005年
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1 明平美;朱荻;胡洋洋;赵波;曾永彬;;基于UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针[A];2006年中国机械工程学会年会暨中国工程院机械与运载工程学部首届年会论文集[C];2006年
2 胡洋洋;朱荻;李寒松;曲宁松;明平美;;UV-LIGA制作微细电解阵列电极[A];第13届全国特种加工学术会议论文集[C];2009年
3 金鹏;谭久彬;;基于UV-LIGA技术的微型火箭及微型动力系统技术[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(二)[C];2005年
4 胡洋洋;朱荻;曾永彬;明平美;;UV-LIGA制作微细群电极工艺研究[A];2007年中国机械工程学会年会之第12届全国特种加工学术会议论文集[C];2007年
5 胡洋洋;朱荻;曾永彬;明平美;;UV-LIGA制作微细群电极工艺研究[A];2007年中国机械工程学会年会论文集[C];2007年
6 高杨;;微小型组合锁原理样机的研制[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(二)[C];2005年
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1 刘韧;基于UV-LIGA光刻技术的曝光及后烘过程仿真研究[D];中国科学技术大学;2010年
2 郝秀春;电热驱动微夹钳的拓扑设计及相关问题研究[D];大连理工大学;2006年
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4 明平美;UV-LIGA-微细电火花加工组合制造技术基础研究[D];南京航空航天大学;2006年
5 孙晓峰;基于叉指式共面波导的RF MEMS开关线型移相器研究[D];上海交通大学;2008年
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7 刘瑞;微结构材料力学性能的微拉伸系统与测试方法研究[D];上海交通大学;2009年
8 孙晓峰;基于叉指式共面波导的RFMEMS开关线型移相器研究[D];上海交通大学;2008年
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1 曹建玉;柔性电热微夹钳的设计和制作[D];大连理工大学;2008年
2 王瑛;紫外厚胶深光刻技术研究[D];长春理工大学;2010年
3 莫顺培;UV-LIGA和微细电火花加工技术组合制造三维金属微结构的研究[D];大连理工大学;2009年
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