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光刻工艺中预曝光技术机理分析与应用研究

刘宏开  罗崇泰  王多书  陈焘  
【摘要】:分析了预曝光技术运用机理,研究了光刻工艺中的预曝光技术。在连续型菲涅尔衍射透镜光刻工艺中,应用了预曝光技术,制作出了较为理想的连续型浮雕结构。

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