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掺氮对类金刚石薄膜的力学性能的影响

周美丽  胡立琼  张跃飞  陈强  葛袁静  
【摘要】:采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)方法,以CH4、N2和Ar作为气源,在不同氮气分压下制备掺氮类金刚石薄膜(α-C:H(N)薄膜)并对其进行FTIR,Raman分析测试其成分,结合进行纳米硬度、摩擦磨损测试来分析含氮量及其在薄膜中的结和方式对摩擦、硬度和弹性模量的影响。研究在不同掺氮量条件下,组成薄膜的化学键结构的转变及由此引起的力学性能的变化的内在原因。

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