收藏本站
《第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集》2006年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

LPCVD多晶硅薄膜制备技术

吴嘉丽  李仁锋  谭刚  李红  
【摘要】:介绍了低压化学气相淀积多晶硅薄膜的制备原理及制备技术。对多晶硅成膜质量进行了分析,分析了影响多晶硅薄膜均匀性、致密性、淀积速率的因素及原因。最后对用硅烷作反应气体的多晶硅薄膜制备工艺技术进行了简单总结。

手机知网App
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 成立,王振宇,高平;DRAM芯片的最新研制进展与发展趋势[J];半导体技术;2004年04期
2 成立,李春明,王振宇,高平;IC产业链中的新技术应用与产业发展对策[J];半导体技术;2004年06期
3 成立,王振宇,景亮;SOC设计:IC产业链设计史上的重大革命[J];半导体技术;2004年12期
4 李若瑜,李斌,陈平,韩静;PMOSFET的NBTI效应[J];半导体技术;2005年05期
5 敬小成,姚若河,吴纬国;二氧化硅干法蚀刻参数的优化研究[J];半导体技术;2005年06期
6 成立,王振宇,朱漪云,刘合祥;制备纳米级ULSI的极紫外光刻技术[J];半导体技术;2005年09期
7 刘远;恩云飞;李斌;师谦;何玉娟;;先进工艺对MOS器件总剂量辐射效应的影响[J];半导体技术;2006年10期
8 胡剑;李刚炎;;基于MEMS的光开关技术研究[J];半导体技术;2007年04期
9 崔严匀;黎磊;李金华;;三层金属磁控溅射复合膜的XRD应力分析[J];半导体技术;2010年07期
10 王艳华,孙道恒;硅尖的制备[J];微纳电子技术;2003年Z1期
中国重要会议论文全文数据库 前4条
1 胡伟;王人成;;基于提高靶材利用率的磁场与靶材刻蚀仿真研究现状[A];2010中国·重庆第七届表面工程技术学术论坛暨展览会论文集[C];2010年
2 龚勇清;刘智怀;高益庆;罗宁宁;李平贵;;一种二元光学元件阵列微芯模的工艺设计研究[A];第十七届十三省(市)光学学术年会暨“五省一市光学联合年会”论文集[C];2008年
3 ;Analysis of Response of the Micro-Machined Poly-Silicon Cantilever Subjected to Vibration Environment[A];Proceedings of the 6th International Conference on Electronics Packaging Technology[C];2005年
4 许筱玲;唐洁影;;微加工硅悬臂梁在振动环境下的可靠性分析[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 谢欣云;非单一SiO_2埋层的SOI新结构研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2004年
2 栗大超;硅微机械扭转镜光致动器及其动态测试技术的研究[D];天津大学;2004年
3 刘锋;射频集成磁膜微电感的制备与性能研究[D];华中科技大学;2005年
4 张思杰;基于MEMS的消化道无线内窥镜的研究[D];重庆大学;2005年
5 邹绍芳;重金属电化学传感器及其在海水检测中应用的研究[D];浙江大学;2006年
6 张西慧;螯合剂在微电子工艺中减少硅表面重金属污染的应用研究[D];河北工业大学;2007年
7 贾孟军;硅微机械加速度开关技术研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2007年
8 陈晓飞;光纤通信用高dI/dt集成半导体激光器驱动器研究[D];华中科技大学;2006年
9 朱会丽;分离吸收层与倍增层结构的低压4H-SiC雪崩光电探测器及其p型欧姆接触的研究[D];厦门大学;2007年
10 蒋利民;约束刻蚀剂层技术(CELT)用于金属材料表面复杂三维微结构的加工研究[D];厦门大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 范娅玲;闪存低温失效分析及不良筛选[D];苏州大学;2010年
2 许艺;大功率晶体管背面金属化的研究与优化设计[D];电子科技大学;2010年
3 于祝鹏;穿通结构三极管BV_(CEO)仿真分析及一致性提高研究[D];电子科技大学;2010年
4 刘波;基于L-Edit设计及MINITAB、JMP分析的晶体管(NPN型)大电流特性提升[D];电子科技大学;2010年
5 周金廷;基于Minitab磷扩结深一致性和均匀性数据分析及优化[D];电子科技大学;2010年
6 王小飞;深紫外光照射延缓光罩结晶生长的研究[D];天津大学;2009年
7 于建姝;铝互连线电迁移可靠性研究[D];天津大学;2010年
8 查钢强;CdZnTe晶体的加工与表面质量控制[D];西北工业大学;2004年
9 李轶华;氧化物限制型垂直腔面发射半导体激光器工艺的研究[D];长春理工大学;2004年
10 谢兴军;静电驱动MEMS微波开关设计与仿真[D];重庆大学;2004年
【相似文献】
中国重要会议论文全文数据库 前9条
1 吴嘉丽;李仁锋;谭刚;李红;;LPCVD多晶硅薄膜制备技术[A];第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集[C];2006年
2 吴嘉丽;李仁锋;谭刚;李红;;LPCVD多晶硅薄膜制备技术[A];第六届全国表面工程学术会议论文集[C];2006年
3 林揆训;林璇英;梁厚蕴;池凌飞;余楚迎;石旺舟;姚若河;黄创君;杨坤进;;铝诱导的非晶硅薄膜低温快速晶化[A];2000年材料科学与工程新进展(上)——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
4 吴嘉丽;;低压化学气相淀积工艺技术[A];中国工程物理研究院科技年报(2003)[C];2003年
5 俞诚;李建立;吴丹;吉鹏程;刘文龙;黄强;;真空薄膜SIPOS工艺与应用[A];江苏省真空学会第十一届学术交流会论文集[C];2007年
6 刘安生;邹具羚;袁建民;;SOI硅膜层中的缺陷观察[A];第六次全国电子显微学会议论文摘要集[C];1990年
7 张化福;刘汉法;祁康成;;p-SiTFT栅绝缘层用SiN薄膜的制备与研究[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(1)[C];2007年
8 杨恢东;麦耀华;吴春亚;薛俊明;耿新华;熊绍珍;;VHF-PECVD氢化微晶硅薄膜制备研究[A];中国太阳能学会2001年学术会议论文摘要集[C];2001年
9 于振瑞;YasuhiroMatsumoto;;掺杂浓度对a-Si:H薄膜低温铝诱导晶化的影响[A];中国第六届光伏会议论文集[C];2000年
中国重要报纸全文数据库 前3条
1 ;“身材”纤巧更易移动[N];中国计算机报;2002年
2 本报记者 李宏乾 张育 行者;宁夏工业设计院:走在成功路上[N];中国化工报;2009年
3 ;轻松投影 简单操作[N];中国计算机报;2001年
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 陆学斌;多晶硅纳米薄膜压阻特性及其压力传感器应用研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
2 陈韬;ZnO薄膜的制备及其晶体管性能研究[D];复旦大学;2010年
3 刘毛;铪基高介电常数栅介质薄膜的制备及其物性研究[D];中国科学院研究生院(合肥物质科学研究院);2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李蔚;晶体硅薄膜的低温制备技术及其性能研究[D];武汉理工大学;2009年
2 何秉元;本底真空度和残余气体对金属薄膜淀积的影响[D];上海交通大学;2011年
3 王玉林;基于光脉冲辅助的金属诱导横向晶化多晶硅薄膜的研究[D];电子科技大学;2005年
4 王立建;酸腐多晶硅表面织构及氮化硅薄膜快速热处理性能的研究[D];河北工业大学;2007年
5 王建军;铝诱导法制备多晶硅薄膜研究[D];陕西师范大学;2007年
6 温雅;多组分分离过程设计的研究[D];中国海洋大学;2007年
7 牛忠秀;硅基铜薄膜制备及其激光冲击改性研究[D];江苏大学;2010年
8 付爽;多孔SiCOH低介电常数材料薄膜的制备与性能表征[D];复旦大学;2011年
9 吉锐;PI衬底卷绕磁控溅射/电沉积法制备Cu膜工艺及其性能研究[D];暨南大学;2010年
10 孙玉芳;Ru-TiN扩散阻挡层的制备与表征[D];哈尔滨工业大学;2010年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026