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《中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)》2005年
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微电铸的析氢现象研究

肖日松  杜立群  刘海军  褚德南  刘冲  
【摘要】:讨论了微电铸工艺中的析氢现象。析氢是微电铸中的附加反应,如处理不当,将会使铸层产生缺陷,如针孔和麻点等,同时引发氢脆,从而降低铸层的机械性能。通过对微电铸原理及析氢机理的分析,提出稳定pH值、增加搅拌和过滤循环、添加润湿剂以及采用脉冲电流等四种有效措施。实验证明,以上措施解决了析氢现象对铸层质量的影响,并获得了满意的铸层。

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【引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 刘海军;微电铸器件均匀性的研究[D];大连理工大学;2006年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 乔桂英,荆天辅,周继锋,于金库,王楠,韩东生;喷射电沉积镍的阴极极化行为[J];材料保护;2004年09期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 陈海燕;朱有兰;李才取;田燕;;ABS汽车灯罩镀亮铬处理工艺[J];工程塑料应用;2007年12期
2 蒋炳炎;翟瞻宇;申瑞霞;邱庆军;;微流控芯片脱模缺陷分析及其脱模装置研究[J];工程塑料应用;2010年01期
3 李常峰;蒋炳炎;申瑞霞;侯文潭;;微流控芯片超声振动注射成型模具设计[J];工程塑料应用;2010年02期
4 董玲;;微流控合成简介及其研究进展[J];合肥师范学院学报;2009年03期
5 杨立;龚乃超;董俊;甘科;杨硕;李尚谦;;新型生物膜反应器处理垃圾渗滤液可行性研究[J];现代农业科技;2011年01期
6 孙凤梅;;半光亮镀镍的工艺研究[J];兵器材料科学与工程;2009年06期
7 朱丽,侯丽雅,章维一;微混合器研究进展[J];微纳电子技术;2005年04期
8 明平美;胡洋洋;曾永彬;;金属Micro/Meso结构器件制造技术[J];微纳电子技术;2006年06期
9 姜洪源;杨胡坤;王扬;;直流电渗流在微通道内的控制与仿真研究[J];微纳电子技术;2008年03期
10 孔祥东;冯圣玉;张玉林;;电子束重复曝光加工PCR微通道的工艺研究[J];微纳电子技术;2009年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 邵光杰;秦秀娟;陈闽子;姚枚;;稀土对电沉积Ni-P合金镀液性能的影响[A];2002年全国电子电镀年会论文集[C];2002年
2 叶金堆;;碱性无氰镀锌工艺及应用[A];2004年全国电子电镀学术研讨会论文集[C];2004年
3 吴青龙;安茂忠;卢俊峰;;无氰镀银液组成及工艺条件的研究[A];2007(第13届)全国电子电镀学术年会暨绿色电子制造技术论坛论文集[C];2007年
4 刘伟;王欣;邢海涛;;清洁生产在环境影响评价中的运用[A];2011中国环境科学学会学术年会论文集(第三卷)[C];2011年
5 刘刚;张斌;王从香;杨中华;;微波混合电路铝合金封装外壳电镀锡铋技术[A];第十四届全国混合集成电路学术会议论文集[C];2005年
6 苗毅;黄旋;李家柱;;三价铬电镀现状及发展趋势[A];高性能防腐蚀涂装及表面保护技术的应用与发展——第16届全国表面保护技术交流会论文集[C];2011年
7 曹克宁;许韵华;杨玉国;赵宇;宫晓静;;高频脉冲电沉积Ni-Co合金在H_2SO_4溶液中的耐蚀性[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(7)[C];2007年
8 宫晓静;许韵华;杨玉国;赵宇;曹克宁;;高频脉冲电镀镍钴合金工艺及性能的研究[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(7)[C];2007年
9 朱立群;;清洁生产与电镀技术发展[A];贵阳电镀协会成立二十周年年会论文集[C];2004年
10 易君明;;电镀镍行业实现清洁生产可行性的研究[A];贵阳电镀协会成立二十周年年会论文集[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 徐波;基于微流控芯片的二维电泳分离及蛋白质预富集研究[D];华中科技大学;2010年
2 曲平;分子印迹微流控手性分离研究[D];南京大学;2010年
3 徐瑞东;脉冲电沉积制备纳米颗粒增强金属基复合材料的研究[D];昆明理工大学;2008年
4 陈贝贝;基于ICP-MS的联用技术及其在生命体系中元素与形态分析的应用[D];武汉大学;2010年
5 张婷;微流控皮升级平移自发试样引入方法及其在高速毛细管电泳中的应用[D];浙江大学;2009年
6 潘建章;微型化吸收光度分析系统及其应用研究[D];浙江大学;2010年
7 李志明;温敏聚N-异丙基丙烯酰胺整体柱操控微流体的研究[D];浙江大学;2010年
8 马丹;温度敏感性PNIPAAm-g-PDMS智能表面的制备、性能研究及在细胞培养中的应用[D];浙江大学;2010年
9 晁侃;微流控系统调控电渗流和热效应数值研究[D];华中科技大学;2011年
10 任玉坤;微粒与微流体交流电动操控机理及实验研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李高飞;数控选区电沉积快速成型的成型质量研究[D];浙江理工大学;2010年
2 朱杰英;基于CCD的多通道毛细管电泳信号处理研究[D];大连理工大学;2010年
3 庞中华;微流控芯片注塑成型工艺规范的试验研究与质量预测[D];大连理工大学;2010年
4 胡克伟;HEDP预镀铜废水处理工艺试验研究[D];湘潭大学;2010年
5 胡双丽;纳米复合镀层的脉冲电沉积制备工艺及性能研究[D];昆明理工大学;2008年
6 杨秀琴;Ti-Al层状复合电极材料制备工艺与性能的研究[D];昆明理工大学;2010年
7 杨志鸿;铝基直接电镀Pb/PbO_2复合电极材料研究[D];昆明理工大学;2009年
8 杨振兴;硝酸烟雾抑制剂及环境友好型退挂具工艺研究[D];中南林业科技大学;2009年
9 刘韧;环境友好型PTH工艺研究[D];中南林业科技大学;2009年
10 朱明杰;环境友好型退镍剂及其循环再生工艺的研究[D];中南林业科技大学;2009年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前6条
1 李永海,丁桂甫,张永华,曹莹,赵小林;LIGA技术微电铸镍的电化学研究[J];电镀与环保;2005年02期
2 杨建明,朱荻,王昆;电铸复杂回转零件时新型象形阳极的应用[J];电加工与模具;2004年05期
3 陈永言,戴盛世,姚青;电镀测量中某些问题的讨论[J];电镀与精饰;2003年02期
4 李永海,丁桂甫,毛海平,张永华;LIGA/准LIGA技术微电铸工艺研究进展[J];电子工艺技术;2005年01期
5 陈迪;非硅三维微加工技术[J];电子科技导报;1999年09期
6 王阳元,武国英,郝一龙,张大成,肖志雄,李婷,张国炳,张锦文;硅基MEMS加工技术及其标准工艺研究[J];电子学报;2002年11期
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 王星星;雷卫宁;刘维桥;姜博;邹旻;;MEMS微器件电沉积层均匀性的研究进展[J];稀有金属材料与工程;2011年12期
2 王星星;雷卫宁;姜博;;微电铸层均匀性的影响研究[J];电镀与环保;2010年04期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 范晖;金属零件叠层模板电沉积成形的基础研究[D];南京航空航天大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前5条
1 孙鹏翔;鲨鱼皮微沟槽减阻机理与复制技术基础研究[D];大连理工大学;2010年
2 张德颖;超声场中旋转阴极电铸纳米复合沉积层的试验研究[D];河南科技大学;2011年
3 曹建玉;柔性电热微夹钳的设计和制作[D];大连理工大学;2008年
4 王诗祺;基于MEMS技术的引信隔爆机构的结构设计及工艺研究[D];南京理工大学;2008年
5 柯学;模具铸层平整性及多样截面微结构制作方法[D];大连理工大学;2013年
【相似文献】
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1 曾爱平,张承典,徐乃欣;淡水中镁基牺牲阳极上的析氢行为[J];中国腐蚀与防护学报;1999年02期
2 王龙彪,黄清安,陈永言,屈松生;电沉积镍-钴-磷合金析氢反应电催化行为的研究[J];电镀与涂饰;1998年04期
3 陈文汨,张利;锌合金在KOH溶液中的腐蚀性能[J];中南工业大学学报(自然科学版);2000年05期
4 肖秀峰,刘榕芳;非晶态Ni-W-WC复合镀层的制备及镀层性能研究[J];材料保护;2003年04期
5 陈文汨,张利;锌合金在KOH溶液中腐蚀性能的研究[J];腐蚀与防护;2000年11期
6 姬文晋;黄慧民;邓淑华;郑育英;欧得华;;非晶态合金催化剂制备及其应用[J];材料导报;2006年05期
7 陈俊明,吕战鹏;磁场和缓蚀剂对Fe/0.5mol·L~(-1)H_2SO_4等体系极化行为的影响[J];中国腐蚀与防护学报;1997年03期
8 吕东生;李伟善;;Ni对非晶态Co-B合金电化学储氢性能的影响[J];稀有金属材料与工程;2010年04期
9 王乃光;王日初;彭超群;冯艳;张纯;张嘉佩;;合金元素对铝阳极材料电化学性能和显微组织的影响[J];中南大学学报(自然科学版);2010年02期
10 刘国金;;铝熔体中的气体及夹杂[J];有色金属加工;2002年02期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 肖日松;杜立群;刘海军;褚德南;刘冲;;微电铸的析氢现象研究[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
2 常林荣;曹发和;张鉴清;曹楚南;;Tafel曲线外推法在测量覆有氧化膜的镁合金腐蚀速率中的局限性[A];2010年全国腐蚀电化学及测试方法学术会议摘要集[C];2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 肖日松;微电铸工艺参数对模具质量影响研究[D];大连理工大学;2006年
2 钟丽应;稀土元素对AZ91镁合金组织结构和腐蚀行为的影响[D];浙江大学;2008年
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