多晶硅薄膜材料参数的在线测试系统

【摘要】：建立了一套多晶硅薄膜材料参数的在线测试系统。系统包括测试结构物理版图、测试设备和计算软件,能够在线测试多晶硅薄膜的主要材料参数,且测试设备和测试方法都与集成电路测试相兼容,即所有物理量的测试都转化为电学量的测量,整个测试过程完全由计算机控制完成。

【作者单位】：东南大学MEMS教育部重点实验室东南大学MEMS教育部重点实验室东南大学MEMS教育部重点实验室
【基金】：国家863高技术研究发展计划资助项目(2003AA404010)
【分类号】：TH87

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	【参考文献】
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前4条

1	梅年松,黄庆安;MEMS薄膜横向断裂强度的在线测试——热驱动法[J];微纳电子技术;2003年Z1期
2	许高斌,黄庆安;表面加工多晶硅薄膜热导率测试结构[J];微纳电子技术;2003年Z1期
3	梅年松,黄庆安;MEMS薄膜纵向断裂强度的静电测试结构模型与模拟[J];半导体学报;2004年01期
4	许高斌,黄庆安;在线检测多晶硅薄膜热导率测试结构的设计与模拟[J];半导体学报;2004年04期

	【共引文献】
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中国期刊全文数据库

前7条

1	张宇星,黄庆安,李伟华;新型多晶硅薄膜热膨胀系数在线测试结构[J];半导体学报;2005年04期
2	程迎军,蒋玉齐,许薇,罗乐;焊料键合实现MEMS真空封装的模拟[J];半导体学报;2005年05期
3	黄庆安;刘祖韬;李伟华;李巧萍;;MEMS薄膜材料参数在线测试方法与技术[J];半导体学报;2006年09期
4	王宏伟;腾功清;齐臣杰;江世宇;;旋转摆动式硅微机械陀螺敏感头的研制[J];传感技术学报;2007年11期
5	孙惠芹;刘志兰;李新;刘南平;李峰;;基于微流控芯片的单细胞图像观测系统的设计[J];传感技术学报;2008年12期
6	张鹏;王兢;;平面工艺SnO_2薄膜甲醛气敏元件的研究[J];传感技术学报;2009年01期
7	王立峰;黄庆安;李伟华;;一种基于热执行器的多晶硅断裂强度的电测量法[J];电子器件;2005年04期

中国重要会议论文全文数据库

前2条

1	许高斌;汪家文;;表面加工多晶硅薄膜电阻温度系数的在线测试[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）[C];2005年
2	王立峰;黄庆安;;多晶硅断裂强度的电测量[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）[C];2005年

中国博士学位论文全文数据库

前1条

1	张段芹;微构件拉伸测试技术及其力学性能研究[D];大连理工大学;2009年

中国硕士学位论文全文数据库

前2条

1	刘博;硅基微结构SnO_2气体传感器结构改进研究[D];大连理工大学;2010年
2	张鹏;基于IC工艺的二氧化锡甲醛气体传感器研究[D];大连理工大学;2009年

	【二级参考文献】
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前1条

1	梅年松,黄庆安;MEMS薄膜断裂强度测试结构[J];微纳电子技术;2002年12期

	【相似文献】
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前10条

1	孙凤玲,田雷,孙学智,王善慈;耐高温多晶硅应变计[J];传感器技术;2001年03期
2	丁建宁,孟永钢,温诗铸;微结构和尺寸约束下多晶硅微机械构件拉伸强度的尺寸效应[J];科学通报;2001年05期
3	李仁锋;吴嘉丽;谭刚;;多晶硅薄膜厚度测量技术[J];计量与测试技术;2006年04期
4	郝秀春,褚金奎,王立鼎,关乐;电热微夹钳的热效应分析和数值模拟[J];中国机械工程;2005年14期
5	张永宇;陈晓阳;赵江铭;;基于微制造的多晶硅薄膜型柔性铰链[J];机械工程学报;2006年06期
6	王恩光;;用干涉法测量半透明固态薄膜材料折射率[J];实验技术与管理;1992年02期
7	姜传海,叶长青,周健威,吴建生;用X射线应力仪无损检测薄膜材料厚度[J];无损检测;2004年02期
8	;薄膜光学薄膜材料与器件[J];中国光学与应用光学文摘;2006年01期
9	张永宇;陈晓阳;杜向阳;;V型电热硅微致动器动态频率特性[J];传感技术学报;2008年04期
10	钱兰,陈宁;膜温可控式表面热电偶及研制中的几个技术问题[J];西安公路交通大学学报;1998年01期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	刘祖韬;黄庆安;李伟华;;多晶硅薄膜材料参数的在线测试系统[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）[C];2005年
2	张永宇;沈雪瑾;赵江铭;陈晓阳;;热致动硅微夹钳实验研究[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）[C];2005年
3	郝秀春;褚金奎;王立鼎;关乐;;电热微夹钳的热效应分析和数值模拟[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（二）[C];2005年
4	桑胜波;薛晨阳;熊继军;张文栋;;基于拉曼光谱的微结构应力测试方法[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）[C];2005年
5	唐圣明;徐梅娣;陈思琴;林绥娟;;X射线能谱仪在薄膜器件刻蚀中的应用[A];第八次全国电子显微学会议论文摘要集（Ⅱ）[C];1994年
6	张清岭;云苏和;宝音;;多晶硅生产中的安全仪表系统[A];中国计量协会冶金分会2011年会论文集[C];2011年
7	姜理利;唐洁影;;表面微加工悬臂梁断裂失效可靠度预测[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）[C];2005年
8	林仰魁;徐东;钱开友;蔡炳初;;用于MEMS器件的真空密封技术[A];上海市真空学会成立20周年暨第九届学术年会论文集[C];2005年
9	张锦;张东生;秦少春;;微米波红外治疗仪的研制[A];中华医学会医学工程学分会第八次学术年会暨《医疗设备信息》创刊20周年庆祝会论文集[C];2006年
10	潘海彬;潘浩;李伯全;罗开玉;王小飞;;基于虚拟仪器的氢化纳米硅薄膜应变系数测量系统的设计[A];2009中国仪器仪表与测控技术大会论文集[C];2009年

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前1条

1	特约撰稿徐铮奎;小产品有大市场[N];医药经济报;2010年

中国博士学位论文全文数据库

前2条

1	沈雪瑾;硅微单侧直脚谐振器与复合V型梁热致动器的机械性能研究[D];上海大学;2007年
2	郝秀春;电热驱动微夹钳的拓扑设计及相关问题研究[D];大连理工大学;2006年

中国硕士学位论文全文数据库

前7条

1	吴剑群;二维CMOS风速计的控制和测量电路的研究[D];东南大学;2006年
2	谢明君;钽酸锂薄膜红外探测器的研究[D];电子科技大学;2007年
3	李开成;大冲程高表面质量MEMS微变形镜实现技术的研究[D];西北工业大学;2007年
4	陶剑磊;CMOS IC结构缺陷显微红外发光研究[D];复旦大学;2008年
5	芮祥新;自制数字锁频紫外-可见吸收谱仪及应用[D];浙江大学;2002年
6	陆丽娟;均匀载荷作用下膜基反射镜面形分析和研究[D];苏州大学;2009年
7	业兵;虚拟仪器技术在万能电子强力仪上的应用研究[D];东华大学;2006年

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