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多晶硅薄膜材料参数的在线测试系统

刘祖韬  黄庆安  李伟华  
【摘要】:建立了一套多晶硅薄膜材料参数的在线测试系统。系统包括测试结构物理版图、测试设备和计算软件,能够在线测试多晶硅薄膜的主要材料参数,且测试设备和测试方法都与集成电路测试相兼容,即所有物理量的测试都转化为电学量的测量,整个测试过程完全由计算机控制完成。

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