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《中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)》2005年
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多晶硅薄膜材料参数的在线测试系统

刘祖韬  黄庆安  李伟华  
【摘要】:建立了一套多晶硅薄膜材料参数的在线测试系统。系统包括测试结构物理版图、测试设备和计算软件,能够在线测试多晶硅薄膜的主要材料参数,且测试设备和测试方法都与集成电路测试相兼容,即所有物理量的测试都转化为电学量的测量,整个测试过程完全由计算机控制完成。

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
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4 许高斌,黄庆安;在线检测多晶硅薄膜热导率测试结构的设计与模拟[J];半导体学报;2004年04期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前7条
1 张宇星,黄庆安,李伟华;新型多晶硅薄膜热膨胀系数在线测试结构[J];半导体学报;2005年04期
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3 黄庆安;刘祖韬;李伟华;李巧萍;;MEMS薄膜材料参数在线测试方法与技术[J];半导体学报;2006年09期
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中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 张段芹;微构件拉伸测试技术及其力学性能研究[D];大连理工大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 刘博;硅基微结构SnO_2气体传感器结构改进研究[D];大连理工大学;2010年
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【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
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【相似文献】
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中国重要报纸全文数据库 前1条
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中国博士学位论文全文数据库 前2条
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