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《中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)》 2005年
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新型硅—铝—硅结构MEMS加工技术及应用

徐永青  杨拥军  郑七龙  李海军  
【摘要】:提出了一种新型的硅-铝-硅结构的MEMS器件加工技术。采用了微电子工艺中的铝-硅烧结技术,将具有铝层的两个硅片键合在一起,并采用全干法深刘蚀技术在其中的一层硅片上进行MEMS器件的加工。该技术已成功应用到MEMS光开关及其他MEMS器件的制作中。

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