收藏本站
《中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)》2005年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

MEMS薄膜泊松比在线提取方法研究

聂萌  黄庆安  李伟华  
【摘要】:提出了一种新的泊松比在线测量方法,在用两端固支梁静电吸合模型提取薄膜等效弹性模量的基础上,根据薄膜的等效弹性模量、杨氏模量、泊松比之间的关系提取薄膜的泊松比。在确定的工艺条件下,选择多组尺寸的测试结构用Coventor Ware软件计算吸合电压值,分析不同梁长对提取等效弹性模量精度的影响,表明选择合适的梁长可得到具有较高精度的泊松比。

手机知网App
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 戎华,黄庆安,聂萌,李伟华;一种能满足MEMS微梁固支边界条件的锚[J];半导体学报;2004年06期
2 聂萌,黄庆安,王建华,戎华,李伟华;静电执行的MEMS多层膜材料参数在线提取方法[J];半导体学报;2004年11期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 黄庆安;刘祖韬;李伟华;李巧萍;;MEMS薄膜材料参数在线测试方法与技术[J];半导体学报;2006年09期
2 胡冬梅;黄庆安;李伟华;;多晶硅薄膜热膨胀系数的电测试结构[J];半导体学报;2008年10期
3 李巧萍;李伟华;;基于数据采集的MEMS薄膜材料参数在线测试系统[J];传感技术学报;2006年05期
4 蒋明霞;杨刚;周易;肖建斌;廖小平;;基于GaAs MMIC技术的残余应力测试结构的模拟与设计[J];传感技术学报;2012年07期
5 许高斌;汪祖民;陈兴;;SOI特种高g值MEMS加速度计设计与分析[J];电子测量与仪器学报;2010年06期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 朱年勇;纳机电混频器的特性研究[D];东南大学;2005年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 戎华,黄庆安,聂萌,李伟华;两端固支多层梁吸合电压的解析模型[J];半导体学报;2003年11期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 杨琳,蔡希洁,张志祥,刘仁红,周华珍,林尊琪;神光Ⅱ各级放大器小信号增益的在线测量[J];中国激光;2004年12期
2 张爱雪;马晓瑜;孟樱;;基于ARM的线阵CCD测径系统设计[J];电子技术;2010年02期
3 陈绍武;王群书;赵宏;邵碧波;王飞;宇文璀蕾;张检民;;一种大面积高能激光光束参数的在线测量方法[J];强激光与粒子束;2006年10期
4 桑胜波;薛晨阳;张文栋;熊继军;阮勇;张大成;郝一龙;;微加工工艺应力的喇曼在线测量[J];半导体学报;2006年06期
5 陈怀林;常本康;张俊举;杜晓晴;;高温激活的变掺杂GaAs光电阴极研究[J];红外与激光工程;2008年S2期
6 聂萌,黄庆安,王建华,戎华,李伟华;静电执行的MEMS多层膜材料参数在线提取方法[J];半导体学报;2004年11期
7 聂萌,黄庆安,王建华,戎华;两端固支梁吸合电压解析模型的拟合修正[J];微纳电子技术;2003年Z1期
8 罗维克;激光测量在PCB行业中的应用——在线测量覆铜板厚度[J];印制电路信息;2005年09期
9 孙渝生,张自栋,赵建新,范丽娟;激光在线长度测量仪[J];应用激光;1996年01期
10 韩智力;杨越;候德鹏;;红外测温技术在直线电机测温中的应用[J];红外技术;2008年03期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 聂萌;黄庆安;李伟华;;MEMS薄膜泊松比在线提取方法研究[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
2 陈怀林;常本康;张俊举;杜晓晴;;高温激活的变掺杂GaAs光电阴极研究[A];第二届红外成像系统仿真测试与评价技术研讨会论文集[C];2008年
3 戎华;王鸣;;MEMS薄膜等效应力梯度在线提取方法的研究[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
4 李艳玲;张国海;杨松岩;戴维平;张鹏;;大尺寸激光测径仪在实际中的应用[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
5 王治富;李丽芹;赵立彬;;激光视觉检测站在解放卡车白车身制造中的应用[A];第三届十省区市机械工程学会科技论坛暨黑龙江省机械工程学会2007年年会论文(摘要)集[C];2007年
6 张志峰;苏玉玲;高瞻;苏展;任玉芬;张晓冬;;基于小波分析轮对几何参数在线光电检测技术的研究[A];2010年西部光子学学术会议摘要集[C];2010年
7 李占锋;尚丽平;;薄膜厚度的石英晶体差动在线测量方法[A];中国仪器仪表学会第三届青年学术会议论文集(上)[C];2001年
8 冯红专;许会;;基于视频的线路板线宽测量[A];创新沈阳文集(A)[C];2009年
9 连玺;解小华;秦贵军;;基于卡尔曼滤波的CSTR控制器设计[A];中国自动化学会控制理论专业委员会D卷[C];2011年
10 冯春雷;丁洪斌;;激光诱导荧光用于甲醛脱除的在线监测[A];第十五届全国等离子体科学技术会议会议摘要集[C];2011年
中国重要报纸全文数据库 前2条
1 山东 韩德弟 王志诚;ZC-1型晶体管在线测试仪原理和使用[N];电子报;2001年
2 四川 张兴;IGBT模块的原理及测量判断方法[N];电子报;2010年
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 吴学成;多相流颗粒运动特性的激光测试技术研究[D];浙江大学;2007年
2 陈从平;芯片封装中时间—压力点胶过程建模、控制与应用研究[D];华中科技大学;2007年
3 徐驰;基于摩擦力在线测量的化学机械抛光终点检测技术研究[D];大连理工大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 杨昆;激光在线测量技术在静电除尘系统中的应用[D];河北大学;2003年
2 徐国祥;透射式强度调制光纤测温仪在线监测系统的研究与实现[D];东南大学;2005年
3 胡博文;IC载带尺寸的在线测量[D];上海交通大学;2008年
4 赵改娜;激光扫描光学系统的研究[D];长春理工大学;2006年
5 李高丰;激光在线测量信号特性及甄别方法研究[D];华南理工大学;2010年
6 张楠;激光在线检测晶圆表面质量的研究[D];上海交通大学;2009年
7 何必威;激光刀具校准系统设计以及应用研究[D];华南理工大学;2011年
8 梁秋芳;微/纳机电谐振器特性研究[D];浙江大学;2007年
9 谭立勇;基于FPGA的直径测量系统研究[D];武汉理工大学;2011年
10 曹高旺;基于FPGA脉冲计数的激光测径系统[D];华南理工大学;2011年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026