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《中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)》2005年
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一种热驱动微型电场传感器设计与仿真

叶超  龚超  陈贤祥  彭春荣  陈绍凤  夏善红  
【摘要】:设计了一种新型的热驱动微型电场传感器,该传感器具有驱动电压低、工作频带宽、工艺步骤简单等优点;阐述了该电场传感嚣的工作原理,描述了设计方案,并给出了驱动部分的仿真结果,计算了感应电流的大小;讨论了所涉及的工艺过程。

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