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《中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)》2005年
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表面微加工悬臂梁断裂失效可靠度预测

姜理利  唐洁影  
【摘要】:MEMS的可靠性已经成为它能否成功地实现商品化的一个关键问题。多晶硅微悬臂梁是MEMS中的一个基本结构,阐述了多晶硅微悬臂梁的断裂失效机理。利用宏观机械理论中的应力一强度干涉理论对表面微加工的多晶硅微悬臂梁的断裂可靠性进行预测,建立了在均匀的表面载荷下的断裂可靠度预测模型。

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