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《中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)》2005年
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用于薄膜热容测量的微型量热计

余隽  唐祯安  张凤田  陈正豪  王立鼎  
【摘要】:设计并加工了一种新型的微量热计,该微量热计的制备采用半导体加工工艺和表面微机械加工技术。与体硅加工的微量热计相比,具有成品率高和器件尺寸控制准确的优点。在真空环境中,该微量热计在5.5mW的加热功率下,中心温度从300K升至400K只需约0.5ms,升温速率达2×105K/s。针对微量热计热质小、升温快等特点,引入了脉冲扫描量热法来测量薄膜的热容。测量了厚度为(430±20)nm的Al薄膜从300K到420K的热容曲线,该薄膜的热客在室温附近为9.2nJ/K。若薄膜的密度值取2700kg/m3,则该Al薄膜的比热容在室温下约为1096.8J/(kg·K),比Al体材料的比热容值900J/(kg·K)增加了约21.9%,表现出金属蚋米晶体的热容增强效应。

【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
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【共引文献】
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中国博士学位论文全文数据库 前1条
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