微米纳米技术在空间技术中的应用研究
【摘要】:空间技术对MEMS技术的需求主要体现在两个方面;首先是探索以MEMS技术为代表的微米/纳米技术在航天领域的应用,这方面的研究更多地体现MEMS技术对航天领域的技术推动作用,其成果主要体现在研制若干适合于航天领城使用的MEMS器件;其次主要以“虚拟卫星”和“网络卫星”为研究背景,介绍了采用一体化设计与系统集成的研究方法研制出的先进MEMS卫星。介绍了国内外微型航天器和MEMS的发展概况,重点分析了MEMS技术在微型航天器中的应用,指出了其发展前景,并介绍了目前我国在航天MEMS技术方面的研究情况。
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黄占喜;吴亚明;李四华;;基于多掩膜光刻工艺的MEMS体硅加工[J];功能材料与器件学报;2011年03期 |
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文春明;尤政;温志渝;王晓峰;陈李;;SU-8胶制备三维微电极结构研究[J];功能材料;2011年S4期 |
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