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MEMS技术的发展现状及微流控系统的研究进展

傅新  
【摘要】:正 MEMS的起源集成电路与固体传感器1947年发明第一个半导体晶体管1958年研制出第一个集成电路1959年研制出第一个平面晶体管——微电子加工技术成熟1954年发现半导体压阻效应1958年研制出硅单晶应变片1969年研制出扩散硅传感器——固体传感器技术成熟20世纪80年代IC工艺应用于微机电结构加工1982年制成第一个硅(?)1988年制成第一个微弹簧1988年柏克利制造出第一台微电机(60μm)——标志着MEMS的正式诞生

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