MEMS技术的发展现状及微流控系统的研究进展

【摘要】：正 MEMS的起源集成电路与固体传感器1947年发明第一个半导体晶体管1958年研制出第一个集成电路1959年研制出第一个平面晶体管——微电子加工技术成熟1954年发现半导体压阻效应1958年研制出硅单晶应变片1969年研制出扩散硅传感器——固体传感器技术成熟20世纪80年代IC工艺应用于微机电结构加工1982年制成第一个硅(?)1988年制成第一个微弹簧1988年柏克利制造出第一台微电机(60μm)——标志着MEMS的正式诞生

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中国期刊全文数据库

前20条

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3	贾健;;浅述新能源汽车发展与应用[J];黑龙江科技信息;2011年18期
4	胡文彬;;关于发展成都市汽车再制造工程的探讨[J];汽车实用技术;2011年05期
5	李兴高;袁大军;;论城市轨道交通领域的技术创新[J];城市轨道交通研究;2011年05期
6	张丽;;建筑节能发展的几点思考[J];青海科技;2011年03期
7	吴佳清;;浅谈电力系统继电保护技术[J];中国新技术新产品;2010年20期
8	陈霞;魏巍;;浅谈我国汽车后市服务体系发展现状[J];才智;2011年24期
9	王琪;陈明星;李佳;席海华;;生物柴油的发展现状研究[J];能源与节能;2011年04期
10	卢达洲;;我省建筑施工机械行业发展现状与对策建议[J];福建建设科技;2011年04期
11	张朋;;浅谈陶瓷刀具的切削性能与发展现状[J];机电信息;2011年21期
12	关林;王雪霏;;土木工程的发展现状与发展趋势探究[J];科技传播;2011年15期
13	陈倩;梁志超;谢焱;刘艳辉;李鹏;;绿色食品标准体系的建立和发展[J];中国标准化;2010年04期
14	方芳;姚国富;刘斌;任镍;;潜艇燃料电池AIP系统技术发展现状[J];船电技术;2011年08期
15	王亨;单玉坤;;再生混凝土的研究发展现状综述[J];黑龙江科技信息;2011年22期
16	张兆好;李志仁;齐英杰;;浅谈我国发展木结构建筑需要解决的一些问题[J];木工机床;2011年02期
17	郭向勇;孙常青;王建军;;我国泡沫混凝土标准化工作的现状与进展[J];徐州工程学院学报(自然科学版);2011年02期
18	刘春晓;;浅析广西新能源产业绿色发展之路[J];广西节能;2011年02期
19	高伟超;;浅谈电气自动化的发展[J];现代营销(学苑版);2011年07期
20	张志浩;;基于数据挖掘的入侵检测现状研究[J];硅谷;2011年16期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	严力蛟;杨玉义;;浙江省休闲观光农业发展现状与典型案例[A];旅游业：推动产业升级和城市转型——第十三届全国区域旅游开发学术研讨会论文集[C];2008年
2	孙振平;王培铭;王新民;;商品砂浆发展与人才战略[A];第三届全国商品砂浆学术交流会论文集[C];2009年
3	罗格梅;李孝斌;;天然气汽车发展现状与前景[A];江苏省天然气利用学术研讨会论文集（上）[C];2002年
4	倪文;;世界陶瓷纤维发展现状与发展方向[A];绝热材料的前景与施工[C];2002年
5	黄年来;林汝楷;;中国珍稀食用菌的研究和开发工作[A];2004中国食用菌产业协调发展高峰论坛论文集[C];2004年
6	付晓梅;;济宁市煤化工产业发展思路探索[A];济宁市技术创新与可持续发展论文选编[C];2005年
7	傅廷斌;;项目管理在中国的发展现状与未来趋势[A];全国第十届企业信息化与工业工程学术年会论文集[C];2006年
8	霍妍妍;李爱军;刘瑜;;虚拟现实技术发展综述[A];中国图学新进展2007——第一届中国图学大会暨第十届华东六省一市工程图学学术年会论文集[C];2007年
9	王琨;谢立斐;董洪璞;;大力发展绿色建筑，推进城市节能工作的顺利进行[A];节能环保和谐发展——2007中国科协年会论文集（二）[C];2007年
10	孙振平;王新民;;我国普通商品砂浆发展现状及人才培养的重要性[A];第二届全国商品砂浆学术交流会论文集[C];2007年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	赵湛;基于MEMS技术的PCR芯片的研究[D];中国科学院研究生院（电子学研究所）;2003年
2	陈丽洁;微型矢量水听器研究[D];哈尔滨工程大学;2006年
3	吕红;转型期中国灵活就业及其制度创新问题研究[D];东北师范大学;2008年
4	沈昕;我国电子制造服务（EMS）产业发展系统研究[D];同济大学;2008年
5	金生国;中国民办社区卫生服务发展现状研究[D];华中科技大学;2009年
6	单建华;仿壁虎微米粘附阵列制备及柔性触觉关键技术研究[D];中国科学技术大学;2007年
7	夏琳琳;低成本AHRS/GPS紧耦合融合滤波技术研究[D];哈尔滨工程大学;2008年
8	赵强;基于MEMS技术的微型泵的研究[D];中国科学院研究生院（电子学研究所）;2004年
9	陈晓静;中国消费信贷研究[D];复旦大学;2004年
10	姚慧玲;促进循环经济发展的生态税研究[D];兰州大学;2012年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	谢晓鸣;品牌战略与江西纺织业发展的探讨[D];南昌大学;2007年
2	李晨;论中国英文报纸的发展现状及发展策略[D];暨南大学;2005年
3	王丽;国际服务贸易的统计分析[D];中国海洋大学;2005年
4	李树良;我国中小航运企业发展战略研究[D];中国海洋大学;2005年
5	何卓;我国水族馆旅游发展现状与对策研究[D];东北林业大学;2006年
6	布建中;山西省绿色食品发展现状及对策研究[D];西北农林科技大学;2005年
7	张敏;我国中小企业税收政策研究[D];国防科学技术大学;2006年
8	李士凌;风险投资及其在中国动作机制的研究[D];华中师范大学;2000年
9	朱彩青;安徽省现代服务业的现状及发展对策研究[D];合肥工业大学;2006年
10	林剑峰;上海市商业性体育健身俱乐部发展现状及对策的研究[D];华东师范大学;2006年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	莲玉;MEMS技术应用日趋广泛[N];中国电子报;2002年
2	夏亚利;农家游产业发展现状及建议[N];承德日报;2009年
3	盛义;我国种子加工机械发展现状及对策[N];新农村商报;2009年
4	潘艺张禄祥万忠广东省农业科学院科技情报研究所尹艳广东省农业科学院科技处胡建广广东省农业科学院作物研究所;甜玉米产业发展现状分析[N];广东科技报;2010年
5	何涛本报记者徐虹;农村教师生存发展现状堪忧[N];四川日报;2004年
6	西部证券股份有限公司刘东;网络打印设备行业发展现状及趋势[N];大众科技报;2008年
7	曹阳黄丽芸万忠陈俊标广东省农业科学院科技情报研究所广东省农业科学院作物研究所;烟草产业发展现状分析[N];广东科技报;2010年
8	孙百刚;青岛动漫发展之浅见[N];青岛日报;2010年
9	国务院参事张鹤镛　石定环魏津生秦小明;物联网发展现状堪忧[N];光明日报;2011年
10	;美国有机食品发展现状[N];粮油市场报;2002年

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