微细电解加工装置的研制及其应用

【摘要】：微细电解加工是微细加工领域很有发展前景的微细加工技术之一。适合于微细电解加工的装置被研制出来,它包括机床进给机构、微细电极制作装置、短路检测模块、脉冲电源及其他一些辅助装置。其中,高频、窄脉冲电源是微细电解加工最重要的核心技术之一。根据微细电解加工的特点,设计了微细电解加工用的MOSFET脉冲电源,该微能脉冲电源能很好的满足微细电解加工的要求。运用该微细电解加工装置进行加工实验,在低的加工电压和低的电解液浓度条件下,利用微细旋转电极加工微小孔和像小铣刀一样进行微细电解铣削加工微结构,得到了满意的工艺效果,因而进一步说明电解加工在微细加工领域很有发展潜力。