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用于等离子体表面改性的高频高压偏压电源研制

巩春志  吕云庆  田修波  杨士勤  Paul K.Chu  
【摘要】:脉冲偏压电源在等离子体表面改性处理技术应用中起到很重要的作用。偏压可以有效调整载能粒子束流密度、工件表面状态、膜基结合力、膜层内应力、膜层结构等等,从而有效优化表面性能。我们研制了几种模式的高频脉冲偏压电源。利用IGBT开关电路模块串联或变压器串并联技术获得了所需模式的高频高压脉冲电压波形。介绍了该种脉冲电源在不锈钢等离子体注入/氮化处理中的应用。

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