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AFM加工中材料去除机理研究

闫永达  孙涛  董申  梁迎春  程凯  
【摘要】:在基于AFM的加工中,通过针尖与表面间力的作用来改变样品表面结构的机械刻划方法不仅在摩擦磨损中得到广泛的应用,而且也逐渐被应用在微纳米制造领域。但是在针尖与样品表面之间的机械刻划过程中材料的去除机理有待于更深入的理解。这导致基于AFM加工的加工方法的应用受到了一定的限制。因此,在基于改造的原子力显微镜的基础上,为了研究金刚石针尖进行机械刻划加工的加工机理,实现了与传统金刚石刀具车削类似的单向加工的加工方法,并研究了垂直于加工方向的进给量对加工过程的影响,得出了不同的加工机理导致加工表面质量的差异的结论。

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