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《面向21世纪的生产工程——2001年“面向21世纪的生产工程”学术会议暨企业生产工程与产品创新专题研讨会论文集》2001年
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多脉冲电火花抛光金刚石膜

陈君  王成勇  郭钟宁  
【摘要】:正 我们发明了一种全新的CVD金刚石膜的抛光技术—旋转电极电火花抛光法。首先在金刚石膜表面镀覆一层合适的金属层,使金刚石膜成为导体,然后进行电火花放电腐蚀去除金刚石膜表面的突出尖峰,达到抛光的目的。在单脉冲放电蚀除金刚石膜的实验中,证实了这种方法的可行性,同时研究了不同镀层材料对放电蚀除过程的影响,并对电火花抛光金刚石膜的机理进行了初步的探讨。本文主要对多脉冲连续放电蚀除抛光出金刚石膜进行研究,为后续电火花旋转电极抛光金刚石膜的研究做进一步的探索。

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