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ZAO靶材烧结机理与特征的研究

范锦鹏  赵大庆  董民超  
【摘要】:通过SEM观察了各个烧结温度下得到的ZAO陶瓷的断面形貌,揭示了ZAO陶瓷烧结的几个基本过程及其温度区间,并详细说明了各个阶段的显微结构特征。通过与ZnO陶瓷烧结过程的对比,揭示了Al_2O_3掺杂对烧结过程的影响。

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