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《面向制造业的自动化与信息化技术创新设计的基础技术——2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集》2001年
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集成智能传感器的研究

曾忠  林辉  季成  
【摘要】:现代科学技术,特别是大规模集成电路技术的迅猛发展,以及计算机技术的日益普及,迫切需要大量智能传感器的应用。本文将阐述了集成式智能传感器的设计原理、制造技术和发展方向,以及智能传感器的关键技术。

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