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《第十届中国太阳能光伏会议论文集:迎接光伏发电新时代》2008年
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配位剂种类对ITO薄膜显微结构和光学性能的影响

张英  徐雪青  徐刚  
【摘要】:本文以三氯化铟(InCl_3·4H_20)为前驱物,以四氯化锡(SnCl_4·5H_2O)为掺杂引入剂,采用溶胶—凝胶法制备ITO薄膜。考察了以二乙醇胺(DEA)和乙酰丙酮(AcAc)为配位剂以及无配位剂条件下,ITO薄膜的显微结构及光学性能。TG-DSC,XRD,SEM的测试结果表明:配位剂影响薄膜的结晶性能和表面形貌,添加二乙醇胺的薄膜结晶温度最低,薄膜均匀、表面平整。光学性能测试表明,DEA配位的ITO薄膜可见光透过率高,且红外反射性能较好。

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