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《第十届中国太阳能光伏会议论文集:迎接光伏发电新时代》2008年
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直流磁控溅射法制备ITO薄膜的研究

王生浩  王波  冯良桓  张静全  蔡亚平  雷智  黎兵  武莉莉  李卫  郑家贵  蔡伟  
【摘要】:在玻璃衬底上用直流反应磁控溅射法制备了铟锡氧化物(ITO)薄膜,用四探针测试仪、紫外可见分光光度计、X射线衍射等对薄膜样品进行了表征,研究了工艺条件中溅射功率、氧分压、工作气压对薄膜光电性能的影响,优化了ITO的制备工艺参数。制得了禁带宽度为3.9~4.0eV、电阻率为1.0~1.2×10~(-4)Ω·cm、可见光区平均透过率达82%的光电性能优良的ITO薄膜。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 赵佳明;边继明;孙景昌;张东;梁红伟;骆英民;;柔性聚酰亚胺(PI)衬底上ITO薄膜的生长及其透明导电性能影响机制研究[J];功能材料;2011年S4期
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 郝雷;刁训刚;胡小草;张鲁豫;郝维昌;王天民;;柔性衬底ITO薄膜的制备及其光电性能研究[J];真空科学与技术学报;2008年03期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前7条
1 杨盟;刁训刚;刘海鹰;武哲;舒远杰;;氮化处理对ITO薄膜光电特性影响[J];功能材料;2006年09期
2 张晓雯;厉蕾;颜悦;;等离子显示器滤光保护膜的研究进展[J];材料工程;2011年08期
3 崔渊;李晓华;郑姚生;;PDP电磁屏蔽膜的特性测试及其研究[J];真空科学与技术学报;2009年04期
4 苏达;王德苗;王伟华;;在线紫外辐照辅助沉积柔性ITO薄膜的研究[J];真空科学与技术学报;2009年04期
5 倪佳苗;赵修建;郑小林;赵江;;P型透明导电SnO_2薄膜的研究进展[J];真空科学与技术学报;2009年05期
6 钟志有;顾锦华;孙奉娄;;有机光电器件ITO阳极表面改性及其时效性研究[J];真空科学与技术学报;2011年02期
7 崔敏;邓金祥;张维佳;段苹;;直流反应磁控溅射法制备太阳电池用ITO透明导电膜[J];真空科学与技术学报;2012年08期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 林慧;ITO导电基板与有机光电器件的制备及特性研究[D];电子科技大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 况琦;制备环境温度及紫外线灯照射改善ITO薄膜性能的研究[D];浙江理工大学;2010年
2 裴瑜;ITO薄膜的制备及通电电流对薄膜特性的影响[D];福建师范大学;2009年
3 赵江;SnO_2:Al/Zn透明导电薄膜的制备及表征[D];武汉理工大学;2010年
4 赵海娇;直流磁控溅射制备ITO薄膜及增透效果的研究[D];长春理工大学;2011年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前8条
1 张德恒;透明导电膜中光吸收边的移动[J];半导体杂志;1998年03期
2 孙裔;刁训刚;杨盟;武哲;舒远杰;;柔性衬底ITO透明导电薄膜的光电性能研究[J];稀有金属材料与工程;2007年01期
3 郝晓涛,张德恒,马瑾,杨莺歌,王卿璞,程传福,田茂华,马洪磊;柔性衬底氧化物半导体透明导电膜的研究进展[J];功能材料;2002年04期
4 钟志有;;原子力显微镜与X射线光电子能谱对ITO表面改性的研究[J];功能材料;2007年08期
5 王生浩;张静全;王波;冯良桓;蔡亚平;雷智;黎兵;武莉莉;李卫;曾广根;郑家贵;蔡伟;;溅射功率和氧分压对ITO薄膜光电性能的影响研究[J];功能材料;2009年05期
6 鲁云华;王永飞;肖国勇;迟海军;胡知之;李论;;无色透明耐高温聚酰亚胺膜材料的研究进展[J];化工新型材料;2009年08期
7 陈猛,裴志亮,白雪冬,黄荣芳,闻立时;ITO薄膜的光电子能谱分析[J];无机材料学报;2000年01期
8 成立顺;孙本双;钟景明;何力军;王东新;陈焕铭;;ITO透明导电薄膜的研究进展[J];稀有金属快报;2008年03期
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 孙裔;刁训刚;杨盟;武哲;舒远杰;;柔性衬底ITO透明导电薄膜的光电性能研究[J];稀有金属材料与工程;2007年01期
2 胡亚兰,刁训刚,郝维昌,王聪,王金良,王天民;基底温度对ITO薄膜红外发射特性的影响[J];红外;2004年01期
3 杨志伟,韩圣浩,杨田林,叶丽娜,马洪磊,韩锡贵;柔性衬底ITO膜的性质与制备参数关系的研究[J];太阳能学报;2001年03期
4 蔡琪;曹春斌;江锡顺;宋学萍;孙兆奇;;ITO薄膜的微结构表征及其组分特性[J];真空科学与技术学报;2007年03期
【相似文献】
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1 桂太龙;汪钢;张秀芳;梁栋;;磁控溅射法制备ITO薄膜的结构及光电性能[J];电子器件;2009年02期
2 彭国贤;;氧化铟锡透明导电膜[J];真空科学与技术学报;1984年05期
3 夏冬林;杨晟;王树林;赵修建;;ITO薄膜直流反应磁控溅射制备及性能研究[J];材料导报;2005年11期
4 夏冬林;杨晟;王树林;赵修建;;ITO薄膜射频磁控溅射法制备及性能研究[J];玻璃与搪瓷;2006年04期
5 刘汉法;张化福;袁玉珍;袁长坤;;直流磁控溅射法制备掺钛氧化锌透明导电薄膜[J];材料导报;2009年22期
6 宋淑梅;杨田林;辛艳青;姜丽莉;李延辉;庞志勇;林亮;韩圣浩;;氧化锌掺钇透明导电薄膜的制备及光电特性研究[J];功能材料;2010年09期
7 辛荣生;林钰;;工艺条件对直流磁控溅射沉积ITO薄膜光电特性的影响[J];稀有金属;2005年06期
8 陈猛,白雪冬,黄荣芳,闻立时;软基片上ITO薄膜的光电特性[J];功能材料与器件学报;1999年01期
9 李儒;曾伟;张凯;潘翠红;孙硕;汪映寒;;活性制备聚合物分散液晶显示器件[J];液晶与显示;2009年06期
10 程树英,钟南保,黄赐昌,陈国南;热蒸发法制备SnS薄膜及其表征[J];真空科学与技术;2005年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 王生浩;王波;冯良桓;张静全;蔡亚平;雷智;黎兵;武莉莉;李卫;郑家贵;蔡伟;;直流磁控溅射法制备ITO薄膜的研究[A];第十届中国太阳能光伏会议论文集:迎接光伏发电新时代[C];2008年
2 冯春祥;刘军;宋永才;;掺杂法制备低电阻率SiC纤维的研究[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
3 来国桥;华西林;杨雄发;;LED封装用有机Si材料研究[A];第十二届全国LED产业研讨与学术会议论文集[C];2010年
4 吴星明;杨树威;徐春叶;;磷酸噻吩用于高分子电致变色器件中ITO的表面修饰[A];中国化学会第28届学术年会第11分会场摘要集[C];2012年
5 谢莉莉;汪鹏;;四探针法在半导体测试技术中的应用[A];第二十届中国(天津)'2006IT、网络、信息技术、电子、仪器仪表创新学术会议论文集[C];2006年
6 谢莉莉;汪鹏;;四探针法在半导体测试技术中的应用[A];第二十届中国(天津)’2006IT、网络、信息技术、电子、仪器仪表创新学术会议论文集[C];2006年
7 职利;徐华蕊;周怀营;;水热法与溶胶-凝胶法制备ITO薄膜及其性能分析[A];2006年全国功能材料学术年会专辑[C];2006年
8 常天海;;磁控溅射陶瓷靶制备氧化铟锡薄膜的结构与光电性能研究[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年
9 陈继权;孙金池;李阳平;刘正堂;;CdZnTe晶体欧姆接触电极的制备工艺研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
10 杨洁;;金刚石薄膜/氧化锌薄膜异质结研制和性质研究[A];中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集[C];2003年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 本报记者 诸玲珍;ITO靶材:资源优势明显 工艺研发取得突破[N];中国电子报;2009年
2 中色(宁夏)东方集团有限公司 张红梅 孙本双 刘孝宁;ITO靶材向大尺寸高密度方向发展[N];中国电子报;2009年
3 大连交通大学光电材料与器件研究所所长 柴卫平;打破技术壁垒 加快ITO靶材产业化进程[N];中国电子报;2009年
4 本报记者 梁红兵;触摸屏应用火热 ITO厂商面临发展新商机[N];中国电子报;2009年
5 杭州浙大三色仪器有限公司董事长 牟同升;LED检测:满足产品需求 新应用领域有差距[N];中国电子报;2007年
6 卢庆儒;触控面板朝向高穿透率、反射率、长寿命的特性前进[N];电子资讯时报;2007年
7 曹其玮;电容式触控面板技术浅析[N];电子资讯时报;2006年
8 李俊岐;我国“863”半导体照明工程已经启动[N];电子资讯时报;2006年
9 记者 曹阳 通讯员 段同刚 高琴伟;晶龙二极管硅单晶稳占全国市场1/4[N];中国化工报;2009年
10 绍平;住友开发成功电子元件用金属纳米粉末生产技术[N];中国电子报;2001年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 林慧;ITO导电基板与有机光电器件的制备及特性研究[D];电子科技大学;2008年
2 任锐;CdSe单晶体生长工艺与探测器性能研究[D];四川大学;2006年
3 杨戈;化合物半导体Cd_(1-x)Zn_xTe中的In掺杂及其与Au的接触特性[D];西北工业大学;2007年
4 宗兆翔;纳米尺度铜互连体系中的电学及热学行为研究[D];复旦大学;2011年
5 王泽温;稀磁半导体Hg_(1-x)Mn_xTe的晶体生长及性能表征[D];西北工业大学;2007年
6 李幼真;纳米Ta基阻挡层的制备及性能研究[D];中南大学;2011年
7 孙彦峰;ZnO:Al透明导电薄膜与ZnO器件的制备及性质的研究[D];吉林大学;2007年
8 王超;钒掺杂半绝缘SiC的制备及特性研究[D];西安电子科技大学;2008年
9 么艳平;Ⅲ-Ⅴ族非晶态探测器材料研究[D];长春理工大学;2009年
10 刘晓明;InAsSb红外光电薄膜制备和表征与单元器件研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 胡雪梅;透明导电氧化物半导体的制备及电学性质研究进展[D];东北师范大学;2009年
2 门智新;磁控溅射法低温制备ITO透明导电薄膜工艺研究[D];中南民族大学;2011年
3 别勋;ZnO透明导电薄膜的制备及性能优化[D];浙江大学;2010年
4 阳秀;聚合物发光器件的制备及性能研究[D];电子科技大学;2006年
5 钟南保;两步法制备FeS_2薄膜及其性能的研究[D];福州大学;2005年
6 程有光;溶胶—凝胶法制备掺铝氧化锌薄膜及其光电性能研究[D];华中科技大学;2008年
7 刘思远;ITO薄膜激光刻蚀控制系统的实现[D];苏州大学;2010年
8 王磊;ITO薄膜晶体管的制备及其性能研究[D];湖南大学;2011年
9 王永利;MgZnO:Al透明导电膜的制备与特性研究[D];山东大学;2007年
10 邓雷磊;ZnO薄膜的制备及其特性研究[D];厦门大学;2007年
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