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《第十届中国太阳能光伏会议论文集:迎接光伏发电新时代》2008年
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用于薄膜太阳电池的绒面ZnO透明导电薄膜的研究

薛俊明  陈新亮  李林娜  段苓伟  黄宇  孙建  赵颖  耿新华  
【摘要】:本文介绍了南开大学近几年来开展新型的ZnO绒面透明导电薄膜研究的最新成果。我们采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)的方法和磁控溅射+湿法腐蚀的方法研究绒面ZnO透明导电膜。目前,用MOCVD的方法制备的ZnO:B具有类金字塔的表面形貌,其电阻率达到1.2×10~(-3)Ωcm,可见光透过率大于85%;用磁控溅射+湿法腐蚀的方法获得的ZnO:Al具有弹坑状的表面形貌,其电阻率小于1.0×10~(-3)Ωcm,可见光透过率大于85%。

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