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《第十届中国太阳能光伏会议论文集:迎接光伏发电新时代》2008年
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铝氧化锌薄膜相关特性的研究

林清耿  郜小勇  冯红亮  陈永生  杨仕娥  谷锦华  卢景霄  
【摘要】:利用中频直流磁控反应溅射法在玻璃衬底上制备了3h的AZO透明导电薄膜。利用XRD四探针法和分光光度计分别研究了不同衬底温度下薄膜的晶体结构、电学和光学特性。研究结果表明:所制备的AZO薄膜并没有表现出明显的(002)c轴择优取向,这可能是由于长时间沉积引起的晶面能演变导致。电阻率在衬底温度为270℃时取得2.5×10~(-3)Ω·cm,分别从微观、薄膜生长机制、晶体结构和薄膜显微结构的角度分析了薄膜电阻率的变化趋势。在可见光范围内,薄膜的平均透过率均大于85%。随着衬底温度的升高,薄膜的吸收边发生蓝移,高于270℃后,又发生了红移,这可归结于载流子浓度的变化。
【作者单位】:郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室
【分类号】:TM914

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
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2 望咏林;颜悦;沈玫;贺会权;张官理;;透明导电氧化物薄膜研究进展[J];材料导报;2006年S1期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 薛涛;聂登攀;张煜;;纳米二氧化钛的低温合成及表征[J];材料导报;2008年S1期
2 徐迪;段学臣;朱协彬;傅欣;;Al掺杂量对ZnO∶Al薄膜微观结构和光电性能的影响[J];材料导报;2008年S1期
3 王玥;刘家祥;刘宸;;纳米级ITO粉体对烧结法制备靶材的影响[J];稀有金属材料与工程;2011年12期
4 田苗苗;范翊;刘星元;;透明导电铟铋氧化物薄膜的制备及其性能[J];发光学报;2010年04期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
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2 孟凡英;胡宇;余跃波;;氧化锌透明导电薄膜生长及其光电特性研究[A];第十届中国太阳能光伏会议论文集:迎接光伏发电新时代[C];2008年
中国博士学位论文全文数据库 前2条
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2 黄延伟;新型SnO_2基透明导电薄膜及其二极管的研究[D];复旦大学;2010年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 赵谢群;透明导电氧化物薄膜研究现状与产业化进展[J];电子元件与材料;2000年01期
2 韩雪,夏慧,吴丽君;透明导电膜及靶材[J];电子元件与材料;1998年01期
【相似文献】
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1 肖海波;曾湘波;刘石勇;彭文博;石明吉;张长沙;;非晶硅太阳能电池背反ZnO:Al薄膜制备[J];硅酸盐学报;2010年01期
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4 张陆成;王学孟;梁宗存;沈辉;;激光区熔在太阳电池制造过程中应用[A];第十届中国太阳能光伏会议论文集:迎接光伏发电新时代[C];2008年
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6 陈琼;蔡希松;李钟华;刘秀兰;潘盛;刘志刚;孙铁囤;;管式扩散中POCl_3使用量的测量及对扩散工艺的影响[A];第十届中国太阳能光伏会议论文集:迎接光伏发电新时代[C];2008年
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 朱红兵;双旋转靶共溅法制备和研究掺铝氧化锌薄膜及其在硅薄膜太阳能电池中的应用[D];华东师范大学;2010年
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